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六氟丁二烯的纯化工艺研究
1
作者
谢武中
傅铸红
+1 位作者
杨俊豪
陈艳珊
《低温与特气》
2025年第1期23-26,共4页
结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99...
结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99%以上,满足半导体工业的高标准要求。
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关键词
六氟丁二烯
吸附剂
精馏
纯化工艺
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职称材料
题名
六氟丁二烯的纯化工艺研究
1
作者
谢武中
傅铸红
杨俊豪
陈艳珊
机构
广东华特气体股份有限公司
出处
《低温与特气》
2025年第1期23-26,共4页
基金
广东省重点领域研发计划项目(2023B0101010001)。
文摘
结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99%以上,满足半导体工业的高标准要求。
关键词
六氟丁二烯
吸附剂
精馏
纯化工艺
Keywords
hexafluorobutadiene
adsorbent
distillation
purification process
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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作者
出处
发文年
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1
六氟丁二烯的纯化工艺研究
谢武中
傅铸红
杨俊豪
陈艳珊
《低温与特气》
2025
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