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3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究
1
作者
熊杰
陶伯万
+4 位作者
谢廷明
陈家俊
刘兴钊
张鹰
李言荣
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期907-910,916,共5页
采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜...
采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜的(002)峰与YBCO薄膜的(005)峰FWHM均小于1°.薄膜厚度均匀性良好,厚度起伏在±5%以内.YBCO薄膜Tc分布在88.5~90K,△TC<1K,Jc>1×106A/cm2,Rs(10GHz,77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ,能较好地满足微波器件研制中的需要.
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关键词
YBCO薄膜
CeO2缓冲层
调速双轴旋转
微波器件
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职称材料
题名
3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究
1
作者
熊杰
陶伯万
谢廷明
陈家俊
刘兴钊
张鹰
李言荣
机构
电子科技大学
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期907-910,916,共5页
文摘
采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜的(002)峰与YBCO薄膜的(005)峰FWHM均小于1°.薄膜厚度均匀性良好,厚度起伏在±5%以内.YBCO薄膜Tc分布在88.5~90K,△TC<1K,Jc>1×106A/cm2,Rs(10GHz,77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ,能较好地满足微波器件研制中的需要.
关键词
YBCO薄膜
CeO2缓冲层
调速双轴旋转
微波器件
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TM26+2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究
熊杰
陶伯万
谢廷明
陈家俊
刘兴钊
张鹰
李言荣
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
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