期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究
1
作者 熊杰 陶伯万 +4 位作者 谢廷明 陈家俊 刘兴钊 张鹰 李言荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期907-910,916,共5页
采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜... 采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜的(002)峰与YBCO薄膜的(005)峰FWHM均小于1°.薄膜厚度均匀性良好,厚度起伏在±5%以内.YBCO薄膜Tc分布在88.5~90K,△TC<1K,Jc>1×106A/cm2,Rs(10GHz,77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ,能较好地满足微波器件研制中的需要. 展开更多
关键词 YBCO薄膜 CeO2缓冲层 调速双轴旋转 微波器件
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部