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方波激磁的感应同步器驱动及信号处理技术被引量：2: 1; 作者谢仁飚王跃明 +1 位作者刘银年王建宇《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第3期368-370,374,共4页; 一般的感应同步器的使用需要由正弦波信号作为激磁信号,由高精度的轴角转换器作为信号处理的关键器件,因而其在航天产品的使用中受到限制。通过对感应同步器激磁信号频率成分的研究,文章提出了双相方波激磁的驱动方案。在此基础上,对感... 展开更多; 关键词感应同步器方波激磁频率分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

320×256短波红外焦平面温控系统设计与应用被引量：8: 2; 作者张明涛谢仁飈 +2 位作者朱磊刘银年王建宇《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期173-176,180,共5页; 针对碲镉汞红外焦平面需要在恒定低温条件下工作的要求,设计并实现了基于热电制冷技术的红外焦平面温控系统。该温控系统具有体积小、响应速度快、可控性好及温控精度高等特点,满足设计要求。实验结果表明,该温控系统可使短波红外焦平面... 展开更多; 关键词短波红外焦平面热电制冷暗电流; 在线阅读下载PDF 职称材料

高采样频率位移测量系统硬件架构设计被引量：2: 3; 作者周航汛熊显名 +1 位作者张文涛谢仁飚《现代电子技术》北大核心 2020年第22期10-14,共5页; 在高端光刻机中,光栅尺掩模台位移测量系统拥有较复杂的运算模型,而且要求测量系统硬件架构能满足20 kHz高采样频率的需求。通过对国内运动台位移测量系统硬件架构进行对比研究,提出一种兼容以往软件架构的基于多核DSP运算板卡的光栅尺... 展开更多; 关键词位移测量硬件架构设计采样频率多核DSP 光栅尺掩模台仿真平台搭建; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现被引量：1: 4; 作者潘菊凤纪松林 +2 位作者谢仁飚孙嘉伟李笑天《电子工业专用设备》 2020年第1期15-19,49,共6页; 针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标... 展开更多; 关键词光刻机安全与诊断以太网控制自动化技术用于过程控制的对象连接和嵌入; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名方波激磁的感应同步器驱动及信号处理技术被引量：2: 1; 作者谢仁飚王跃明刘银年王建宇; 机构中国科学院上海技术物理研究所; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第3期368-370,374,共4页; 基金中国科学院知识创新工程项目(0323035); 文摘一般的感应同步器的使用需要由正弦波信号作为激磁信号,由高精度的轴角转换器作为信号处理的关键器件,因而其在航天产品的使用中受到限制。通过对感应同步器激磁信号频率成分的研究,文章提出了双相方波激磁的驱动方案。在此基础上,对感应信号的频率成分作了进一步分析,采用了Chebyshey低通滤波的信号处理方案,取得了较好的效果。试验数据表明,该方案的测角分辨率达到±0.8″,能够满足航天设备中角度测量的需求。; 关键词感应同步器方波激磁频率分析; Keywords inductosyn square wave excitation frequency analysis; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名320×256短波红外焦平面温控系统设计与应用被引量：8: 2; 作者张明涛谢仁飈朱磊刘银年王建宇; 机构中国科学院上海技术物理研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期173-176,180,共5页; 基金中国科学院知识创新工程项目(0323035); 文摘针对碲镉汞红外焦平面需要在恒定低温条件下工作的要求,设计并实现了基于热电制冷技术的红外焦平面温控系统。该温控系统具有体积小、响应速度快、可控性好及温控精度高等特点,满足设计要求。实验结果表明,该温控系统可使短波红外焦平面在195K时长期稳定工作,温控精度优于0.1℃,焦平面暗电流及噪声水平均有明显改善。; 关键词短波红外焦平面热电制冷暗电流; Keywords short wave infrared focal plane array（SWIRFPA） thermoelectric cooling（TEC） dark current; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高采样频率位移测量系统硬件架构设计被引量：2: 3; 作者周航汛熊显名张文涛谢仁飚; 机构桂林电子科技大学上海微电子(装备)集团股份有限公司; 出处《现代电子技术》北大核心 2020年第22期10-14,共5页; 基金国家重大科技专项(2017ZX02101007-003)。; 文摘在高端光刻机中,光栅尺掩模台位移测量系统拥有较复杂的运算模型,而且要求测量系统硬件架构能满足20 kHz高采样频率的需求。通过对国内运动台位移测量系统硬件架构进行对比研究,提出一种兼容以往软件架构的基于多核DSP运算板卡的光栅尺掩模台位移测量系统硬件架构,使用多核DSP内核间共享内存通信的机制,取代运算板卡间数据总线通信的机制,同时由板内PCIe总线互联片上多核DSP与FPGA。搭建硬件在环仿真平台进行实验,实验结果表明,系统获取原始数据、进行模型运算以及发送位置数据的总体性能提升百分比约为136%,保证模型运算精度的同时,满足20 kHz采样频率的要求。; 关键词位移测量硬件架构设计采样频率多核DSP 光栅尺掩模台仿真平台搭建; Keywords displacement measurement hardware architecture design sampling frequency multi-core DSP grating scale reticle stage simulation platform setup; 分类号 TN874.3-34 [电子电信—信息与通信工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现被引量：1: 4; 作者潘菊凤纪松林谢仁飚孙嘉伟李笑天; 机构上海微电子装备(集团)股份有限公司; 出处《电子工业专用设备》 2020年第1期15-19,49,共6页; 文摘针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障。; 关键词光刻机安全与诊断以太网控制自动化技术用于过程控制的对象连接和嵌入; Keywords Lithography Safety and diagnosis EtherCAT(Ethernet for Control Automation Technolo-gy) OPC(Object Linking and Embedding(OLE)for Process Control); 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	方波激磁的感应同步器驱动及信号处理技术	谢仁飚王跃明刘银年王建宇	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	320×256短波红外焦平面温控系统设计与应用	张明涛谢仁飈朱磊刘银年王建宇	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2009	8	在线阅读下载PDF 职称材料
3	高采样频率位移测量系统硬件架构设计	周航汛熊显名张文涛谢仁飚	《现代电子技术》北大核心	2020	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现	潘菊凤纪松林谢仁飚孙嘉伟李笑天	《电子工业专用设备》	2020	1	在线阅读下载PDF 职称材料