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声表面波器件用Pb[(Mn_(1/3)Nb_(2/3))_xZr_yTi_(1-x-y)]O_3压电陶瓷材料的研制
1
作者
魏敏敏
顾峰
谢为一
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992年第3期28-35,共8页
声表面波器件用铌锰锆钛酸铅系压电陶瓷材料,采用真空烧结工艺来提高陶瓷致密度,改善表面光洁度。添加CeO_2抑制晶粒生长,制得了小于2μm微晶压电陶瓷材料。进一步改善陶瓷材料的表面光洁度,样品经抛光后得表面最大孔洞小于0.5μm,适宜...
声表面波器件用铌锰锆钛酸铅系压电陶瓷材料,采用真空烧结工艺来提高陶瓷致密度,改善表面光洁度。添加CeO_2抑制晶粒生长,制得了小于2μm微晶压电陶瓷材料。进一步改善陶瓷材料的表面光洁度,样品经抛光后得表面最大孔洞小于0.5μm,适宜制作38MHz的声表面波滤波器件。
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关键词
压电陶瓷材料
声表面波器件
制备
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职称材料
题名
声表面波器件用Pb[(Mn_(1/3)Nb_(2/3))_xZr_yTi_(1-x-y)]O_3压电陶瓷材料的研制
1
作者
魏敏敏
顾峰
谢为一
机构
上海科学技术大学材料工程系
上海无线电一厂
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992年第3期28-35,共8页
文摘
声表面波器件用铌锰锆钛酸铅系压电陶瓷材料,采用真空烧结工艺来提高陶瓷致密度,改善表面光洁度。添加CeO_2抑制晶粒生长,制得了小于2μm微晶压电陶瓷材料。进一步改善陶瓷材料的表面光洁度,样品经抛光后得表面最大孔洞小于0.5μm,适宜制作38MHz的声表面波滤波器件。
关键词
压电陶瓷材料
声表面波器件
制备
Keywords
piezoelectric ceramics, Pb[(Mn1/3Nb2/3)xZry,Ti1-x-y]O3 system, vacuum sintering, SAW device
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
声表面波器件用Pb[(Mn_(1/3)Nb_(2/3))_xZr_yTi_(1-x-y)]O_3压电陶瓷材料的研制
魏敏敏
顾峰
谢为一
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1992
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