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非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究
被引量：
2
1
作者
卢保奇
许耀先
+2 位作者
申广耀
季江华
王林军
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期3568-3571,共4页
利用非平衡磁控溅射法制得厚度达到2.23μm的掺铬含氢类金刚石(Cr-DLC)碳膜。采用Raman光谱和XPS对制得的薄膜进行了结构和热稳定性等表征。结果表明:室温时,薄膜在1 544cm^(-1)附近的Raman"G"峰归属于石墨结构中C—C键的伸...
利用非平衡磁控溅射法制得厚度达到2.23μm的掺铬含氢类金刚石(Cr-DLC)碳膜。采用Raman光谱和XPS对制得的薄膜进行了结构和热稳定性等表征。结果表明:室温时,薄膜在1 544cm^(-1)附近的Raman"G"峰归属于石墨结构中C—C键的伸缩振动,即E2g模式;而1 367cm-1附近的"D"峰归属于sp^2碳环的"呼吸"振动模式,即A1g模式;计算得到薄膜sp3键的相对含量约为48at.%。加热至300℃,薄膜的Raman谱图与室温时相似,表明此温度段薄膜的结构稳定,未发生明显改变;至400℃时,ID/IG值迅速增大,sp^2键含量升高,表明此时DLC膜发生了明显的结构变化,开始发生石墨化。继续升温,膜中ID/IG比率增加,"G"峰位向高波数方向位移,表明sp^2/sp^3比率逐渐增大,薄膜石墨化程度加强,sp^2键的无序度逐渐降低,最终导致薄膜的摩擦系数和磨损率等逐渐增大,热稳定性逐渐降低。退火600℃时,ID/IG值以及sp^2键含量达到最大值,DLC薄膜失效。
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关键词
非平衡磁控溅射
类金刚石碳膜
RAMAN光谱
XPS
热稳定性
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职称材料
题名
非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究
被引量：
2
1
作者
卢保奇
许耀先
申广耀
季江华
王林军
机构
上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期3568-3571,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61176072)
上海市教委教师产学研践习项目资助
文摘
利用非平衡磁控溅射法制得厚度达到2.23μm的掺铬含氢类金刚石(Cr-DLC)碳膜。采用Raman光谱和XPS对制得的薄膜进行了结构和热稳定性等表征。结果表明:室温时,薄膜在1 544cm^(-1)附近的Raman"G"峰归属于石墨结构中C—C键的伸缩振动,即E2g模式;而1 367cm-1附近的"D"峰归属于sp^2碳环的"呼吸"振动模式,即A1g模式;计算得到薄膜sp3键的相对含量约为48at.%。加热至300℃,薄膜的Raman谱图与室温时相似,表明此温度段薄膜的结构稳定,未发生明显改变;至400℃时,ID/IG值迅速增大,sp^2键含量升高,表明此时DLC膜发生了明显的结构变化,开始发生石墨化。继续升温,膜中ID/IG比率增加,"G"峰位向高波数方向位移,表明sp^2/sp^3比率逐渐增大,薄膜石墨化程度加强,sp^2键的无序度逐渐降低,最终导致薄膜的摩擦系数和磨损率等逐渐增大,热稳定性逐渐降低。退火600℃时,ID/IG值以及sp^2键含量达到最大值,DLC薄膜失效。
关键词
非平衡磁控溅射
类金刚石碳膜
RAMAN光谱
XPS
热稳定性
Keywords
UBMS
Diamond-like carbon film
Raman spectrum
XPS
Thermal stability
分类号
P619.2 [天文地球—矿床学]
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究
卢保奇
许耀先
申广耀
季江华
王林军
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
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