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题名DMD衍射效应及其产生的杂散光分析
被引量：8
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作者
袁夕尧
胡源
黄蕴涵
许熠宸
秦铭泽
李文轩
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机构
长春理工大学光电工程学院
光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期630-635,共6页
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基金
国家重点研发计划(2016YFF0101902)。
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文摘
针对数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)衍射效应对系统成像影响严重的问题,对DMD元件产生的杂散光进行研究。基于严格耦合波理论构建了DMD衍射模型,分析不同波段和入射角度对其衍射效率的影响,分析结果表明,在长波红外波段DMD衍射效应较明显,且随着入射角度增大,DMD衍射效应更为显著。分析投影系统中DMD的衍射杂光产生途径,通过改变系统的F数来控制入射角度,计算出DMD衍射效应产生的杂光能量占比,给出不同波长下,不同F数的光学系统杂光随衍射效应的变化曲线,即F数越大,DMD衍射效应对系统杂光影响越小。
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关键词
数字微镜器件
衍射效应
严格耦合波理论
杂散光分析
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Keywords
digital micro-mirror device
diffraction effect
rigorous coupled wave theory
stray light analysis
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分类号
TN209
[电子电信—物理电子学]
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