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题名印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析
被引量：4
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作者
裴文彦
周金运
梁国均
林清华
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机构
广东工业大学实验教学部
广东工业大学物理与光电工程学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期360-365,共6页
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基金
广东省自然科学基金(07001789)
广东省科技计划项目(2007B010400071)
广州市科技计划项目(2006Z3D0041)
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文摘
针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。
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关键词
激光技术
均束器
激光投影成像光刻
XeF准分子激光
印刷电路板
加工窗
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Keywords
laser techniques
beam homogenizer
laser projection imaging lithography
XeF excimer
printed circuit boards
process window
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分类号
TN248
[电子电信—物理电子学]
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题名基于APD半导体制冷供能电路设计
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作者
裴文彦
周金运
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机构
广东工业大学实验中心
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出处
《现代电子技术》
2005年第11期25-26,29,共3页
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文摘
雪崩光电二极管(APD)作为高灵敏光探测器件,为降低暗电流噪声需要半导体热电制冷器来降低其工作环境温度。用于制冷器的能源供应以及恒温控制的开关电源是该制冷系统重要的支持性配置,从半导体热电制冷控制需要电源功率输出较大、稳定性较好和受外界影响较少的要求出发,在开关电源的功率转换电路和脉宽调制(PWM)控制电路部分做了相应的改进。选择半桥式功率转换电路,以及利用控制芯片的功能实现脉宽调制电路,并根据探测和控制的反馈信号进行功率调整,实验结果证明这些方法对本设计电源是可行的。
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关键词
开关电源
雪崩光电二极管(APD)
脉宽调制(PWM)
半导体热电制冷(TEC)
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Keywords
switch power supply
Avalanche Photodiode(APD)
Pulse Width Modulation(PWM)
Semiconductor Thermoelectricity Cooling(TEC)
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分类号
TN302
[电子电信—物理电子学]
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题名物理人才科学素质的培养
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作者
周金运
裴文彦
胡义华
张海燕
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机构
广东工业大学应用物理系
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出处
《中山大学学报论丛》
2001年第1期102-105,共4页
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文摘
对物理人才在科学素质培养方面提出建议 ,主要通过一些世界著名的物理学家成功的经历加以佐证 ,借此用事实阐明科学方法。
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关键词
物理人才
科学素质
科学方法
科学态度
科学精神
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分类号
G6420
[文化科学—高等教育学]
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