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高纯三氟甲烷的制备工艺 被引量:3
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作者 袁淑筠 廖恒易 《低温与特气》 CAS 2014年第6期19-22,共4页
综述了高纯三氟甲烷的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有二氧化碳、三氟一氯甲烷、三氟一溴甲烷、五氟乙烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷等杂质的粗三氟甲烷,提纯到99.999%以上。
关键词 高纯三氟甲烷 精馏 二氧化碳 三氟一氯甲烷 二氟一氯甲烷
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八氟环丁烷的纯化 被引量:2
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作者 袁淑筠 梁德辉 《低温与特气》 CAS 2016年第6期30-32,共3页
简介了制备和纯化八氟环丁烷(c-C_4F_8)的方法。研究了深度脱除水杂质(H_2O)的工艺,可得到H_2O≤0.1×10^(-6)的高纯c-C_4F_8。
关键词 八氟环丁烷 深度脱除
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超高纯乙烯的制备 被引量:1
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作者 袁淑筠 禹金龙 +1 位作者 张观海 韦杰广 《低温与特气》 CAS 2021年第1期30-33,共4页
综述了超高纯乙烯(C2H4)的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有氧(O2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、乙烷(C2H6)、乙炔(C2H2)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、碳三及以上等杂质的粗C2H4提纯到99.9995%以上。利用Aspen Plus模拟软... 综述了超高纯乙烯(C2H4)的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有氧(O2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、乙烷(C2H6)、乙炔(C2H2)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、碳三及以上等杂质的粗C2H4提纯到99.9995%以上。利用Aspen Plus模拟软件分析,确定超高纯C2H4制备的最佳设备为:2个填料塔,T1塔共31块塔板,第7块塔板为进料口,T2塔共48块塔板,第13块塔板为进料口。经过实验,制得超高纯C2H4产品,该可行工艺如下:原料经吸附后进入T1塔精馏,控制T1塔温度为-58~-43℃,回流比为720~840,取T1塔液相引入T2塔精馏,控制T2塔温度为-66~-64℃,回流比为0.97~1.3,在线检测合格后充装。 展开更多
关键词 超高纯 乙烯 乙烷 精馏 吸附 Aspen Plus
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Aspen Plus软件分析精馏制备高纯五氟乙烷的工艺
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作者 袁淑筠 张观海 张胜超 《低温与特气》 CAS 2019年第4期5-9,共5页
总结了五氟乙烷(C2HF5,R125)的用途和纯度≥99.5%的粗R125的常见杂质种类。利用AspenPlus软件,对R125用精馏法提纯的工艺进行了模拟计算,确定出脱轻塔(A塔)塔板数为49、第30块塔板进料、回流比是664.5;脱重塔(B塔)塔板数为52、第28块塔... 总结了五氟乙烷(C2HF5,R125)的用途和纯度≥99.5%的粗R125的常见杂质种类。利用AspenPlus软件,对R125用精馏法提纯的工艺进行了模拟计算,确定出脱轻塔(A塔)塔板数为49、第30块塔板进料、回流比是664.5;脱重塔(B塔)塔板数为52、第28块塔板进料、回流比是3.2。在设计和优化参数下,比普通精馏节能,能将R125产品提纯到99.999%以上。 展开更多
关键词 ASPENPLUS 精馏 高纯 五氟乙烷 R125
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SPC分析在特种气体行业的应用
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作者 袁淑筠 《低温与特气》 CAS 2017年第6期42-46,共5页
统计过程控制(Statistic process control,SPC)主要用于汽车行业及其供应商,包括半导体和特种气体行业。介绍了汽车行业质量管理体系标准IATF16949:2016的核心管理理念,即缺陷预防,持续改进,顾客满意和体系有效。重点阐述了如何用SPC对... 统计过程控制(Statistic process control,SPC)主要用于汽车行业及其供应商,包括半导体和特种气体行业。介绍了汽车行业质量管理体系标准IATF16949:2016的核心管理理念,即缺陷预防,持续改进,顾客满意和体系有效。重点阐述了如何用SPC对特种气体行业的关键工序的数据进行分析。应用SPC优化过程控制,可实现整个供应链中变异和浪费的减少,提高特种气体产品的质量稳定性。 展开更多
关键词 SPC IATF16949 过程控制 特种气体
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吸附法精制电子特气全氟丁二烯
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作者 袁淑筠 禹金龙 韦杰广 《低温与特气》 CAS 2022年第1期34-37,共4页
全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C_(4)F_(6),HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔。HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法。原料中含有的主要杂质除氮气(N_(2))、氧气(O_(2))等... 全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C_(4)F_(6),HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔。HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法。原料中含有的主要杂质除氮气(N_(2))、氧气(O_(2))等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除。通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验,能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H_(2)O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出货标准。实验结果表明,大部分吸附剂会引发不同程度的歧化反应,精制难度较大,故选用碱盐分子筛脱除HF,硅铝酸盐分子筛脱除醚,5 A分子筛脱除其余杂质。 展开更多
关键词 全氟丁二烯 六氟丁二烯 六氟-1 3-丁二烯 HFBD 吸附 蚀刻
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