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边缘空气层薄膜体声波谐振器的设计与制备: 1; 作者朱宇涵段兰燕 +4 位作者陈志鹏许锴镔胡晗衣新燕李国强《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期11-15,共5页; 压电薄膜存在固有的对压电效应的非线性迟滞响应,并且声波有向边缘传播的横波分量,二者都会产生声波的能量损耗。该文设计了一种具有边缘空气层结构的单晶氮化铝薄膜体声波谐振器,可以减小非线性迟滞的机电损耗并阻止横波能量泄露,提高... 展开更多; 关键词单晶氮化铝薄膜体声波谐振器边缘空气层有限元仿真压电非线性效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

边缘负载FBAR谐振器有限元仿真分析被引量：3: 2; 作者刘红斌张铁林 +2 位作者胡晗衣新燕李国强《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期21-25,44,共6页; 外部激励施加于薄膜体声波谐振器(FBAR)时会激发纵向与横向剪切的振动,引发能量损耗,为了减少寄生谐振,降低FBAR器件的工作损耗,提高器件的品质因数,故需要抑制横向剪切振动。该文采用有限元仿真法讨论了顶电极边缘负载参数对FBAR器件... 展开更多; 关键词薄膜体声波谐振器边缘负载有限元仿真寄生; 在线阅读下载PDF 职称材料

高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备被引量：2: 3; 作者赵利帅衣新燕 +3 位作者欧阳佩东张铁林刘红斌李国强《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期18-20,共3页; 该文研究了双层反射结构对薄膜体声波谐振器性能的影响。采用有限元方法建立了以氮化硅为支撑层,氮化铝为压电层,钼为电极的器件模型。首先探究反射层的宽度对输入阻抗的影响,为了进一步验证仿真结果,制备了空腔型薄膜体声波谐振器。研... 展开更多; 关键词薄膜体声波谐振器反射层输入阻抗 ALN 有限元; 在线阅读下载PDF 职称材料