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用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
1
作者
毛祖遂
魏赛珍
+1 位作者
王从健
蔡连珍
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
1992年第6期641-646,共6页
陶瓷环高阻膜作为筒镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大的影响。本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度稳定的高阻膜,经测试性能良好,并已实用于俄歇电子谱仪中。
关键词
分析器
陶瓷环
高阻膜
筒镜分析器
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职称材料
题名
用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
1
作者
毛祖遂
魏赛珍
王从健
蔡连珍
机构
浙江大学物理系
出处
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
1992年第6期641-646,共6页
基金
浙江省自然科学基金
文摘
陶瓷环高阻膜作为筒镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大的影响。本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度稳定的高阻膜,经测试性能良好,并已实用于俄歇电子谱仪中。
关键词
分析器
陶瓷环
高阻膜
筒镜分析器
Keywords
analyzer
ceramic disc
high resistance film
分类号
TH838.2 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
毛祖遂
魏赛珍
王从健
蔡连珍
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
1992
0
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