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母猪赖氨酸需要量的研究进展 被引量:5
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作者 蒋亚东 王瑞生 +3 位作者 刘作华 杨飞云 兰云贤 黄金秀 《动物营养学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2654-2666,共13页
赖氨酸作为母猪第一限制性氨基酸,对母猪繁殖性能和泌乳潜力的充分发挥具有重要的作用。本文主要从母猪氨基酸研究特点、研究现状,赖氨酸需要量的测定方法、测定指标以及母猪在妊娠期和哺乳期对赖氨酸的需要量进行综述,为养猪生产实践... 赖氨酸作为母猪第一限制性氨基酸,对母猪繁殖性能和泌乳潜力的充分发挥具有重要的作用。本文主要从母猪氨基酸研究特点、研究现状,赖氨酸需要量的测定方法、测定指标以及母猪在妊娠期和哺乳期对赖氨酸的需要量进行综述,为养猪生产实践中母猪饲粮的合理配制与科学饲养提供参考。 展开更多
关键词 母猪 赖氨酸 需要量
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掺杂聚苯胺自组装超薄NO_2气敏传感器研究 被引量:5
2
作者 蒋亚东 王涛 李丹 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z2期175-176,共2页
根据聚苯胺特有的掺杂特性,提出了利用掺杂诱导沉积效应制备聚苯胺/聚合物酸自组装超薄膜的原理,研制出了聚苯胺与聚苯乙烯磺酸及聚丙烯酸的自组装多层气敏膜,结合传感器功能结构设计,研制出了自组装超薄膜二氧化氮(NO_2)气敏传感器,并... 根据聚苯胺特有的掺杂特性,提出了利用掺杂诱导沉积效应制备聚苯胺/聚合物酸自组装超薄膜的原理,研制出了聚苯胺与聚苯乙烯磺酸及聚丙烯酸的自组装多层气敏膜,结合传感器功能结构设计,研制出了自组装超薄膜二氧化氮(NO_2)气敏传感器,并对其敏感特性进行了测试研究。 展开更多
关键词 聚苯胺 自组装 超薄膜 敏感特性
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聚吡咯/二氧化钛复合氨敏薄膜的制备及特性研究 被引量:3
3
作者 蒋亚东 太惠玲 +1 位作者 谢光忠 赵明静 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第S1期594-598,共5页
采用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚吡咯/纳米二氧化钛(PPy/TiO_2)复合薄膜,并进行了表面电阻测试及紫外-可见光谱分析、原子力显微镜分析.利用平面叉指电极结构制备了PPy和PPy/TiO_2薄膜气体传感器,研究了其在... 采用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚吡咯/纳米二氧化钛(PPy/TiO_2)复合薄膜,并进行了表面电阻测试及紫外-可见光谱分析、原子力显微镜分析.利用平面叉指电极结构制备了PPy和PPy/TiO_2薄膜气体传感器,研究了其在常温下对有毒气体NH_3的敏感性.结果表明,相同条件下PPy/TiO_2复合薄膜传感器的响应/恢复时间均优于PPy薄膜传感器.同时测试了PPy/TiO_2复合薄膜传感器的湿度特性和稳定性. 展开更多
关键词 PPy/TiO_2 复合薄膜 气体传感器 NH_3
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掺杂剂对聚苯胺/二氧化钛复合薄膜氨敏特性的影响
4
作者 蒋亚东 陈璇 +2 位作者 太惠玲 谢光忠 杜晓松 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期773-776,共4页
室温条件下,采用平面叉指电极式器件,运用原位化学氧化聚合和静电力自组装相结合的方法分别制备了盐酸掺杂和对甲苯磺酸掺杂聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜气体传感器,并通过电子扫描显微镜(SEM)对薄膜进行了分析表征,研究了... 室温条件下,采用平面叉指电极式器件,运用原位化学氧化聚合和静电力自组装相结合的方法分别制备了盐酸掺杂和对甲苯磺酸掺杂聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜气体传感器,并通过电子扫描显微镜(SEM)对薄膜进行了分析表征,研究了其在常温下对NH3气的敏感特性。实验结果表明,盐酸掺杂PANI/TiO2复合薄膜较对甲苯磺酸掺杂PANI/TiO2薄膜具有更好的灵敏度和响应恢复特性以及更好的稳定性。该研究有助于开发低功耗、高灵敏度的NH3气体传感器。 展开更多
关键词 复合薄膜 气体传感器 盐酸 NH3 PANI/TiO2 对甲苯磺酸
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新中国成立以来我国区域经济发展模式研究 被引量:2
5
作者 蒋亚东 《商业时代》 北大核心 2010年第33期123-123,共1页
中国的区域发展模式的演进是中央政府政策、各地区位优势等多方面因素共同催化的结果。新中国成立60多年来,中国区域经济发展模式经历了以下五个阶段的演化:"点状"分布格局—沿海"带状"分布格局—"弓"状... 中国的区域发展模式的演进是中央政府政策、各地区位优势等多方面因素共同催化的结果。新中国成立60多年来,中国区域经济发展模式经历了以下五个阶段的演化:"点状"分布格局—沿海"带状"分布格局—"弓"状分布格局—"井"状分布格局—"棋盘"状分布格局。 展开更多
关键词 区域经济 发展模式 分布格局
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“新型局域场调控红外探测技术”专栏序言
6
作者 蒋亚东 王军 +1 位作者 王鹏 杨再兴 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期I0003-I0003,共1页
红外探测技术在空间遥感探测、安防安检、工业过程检测、防火救灾、交通监控与夜视驾驶、生物医学成像、环境资源监测、科研分析仪器等方面均有广泛应用,其核心部件是高性能的红外探测器件。近年来,随着人们在人工智能、大数据、智慧城... 红外探测技术在空间遥感探测、安防安检、工业过程检测、防火救灾、交通监控与夜视驾驶、生物医学成像、环境资源监测、科研分析仪器等方面均有广泛应用,其核心部件是高性能的红外探测器件。近年来,随着人们在人工智能、大数据、智慧城市、深空深海等方面对红外信息的探测感知的强烈需求,不仅需要逐步降低红外探测器的尺寸、重量、功耗和价格,并且需要进一步提升红外探测器灵敏度、响应速度、工作频宽、响应光参数种类等核心性能指标。 展开更多
关键词 人工智能 遥感探测 红外探测技术 大数据 生物医学成像 红外探测器 交通监控 资源监测
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微分算子与子波构造 被引量:31
7
作者 袁晓 陈向东 +3 位作者 李齐良 张蜀平 蒋亚东 虞厥邦 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期769-773,共5页
将传统意义下的整数阶微分运算拓展到非整数阶微分情形 ,直接仿照整数阶微分在时域的极限定义形式是很困难的 .本文从分析微分运算的频域形式着手 ,将微分算子分解成幅度算子和相位算子 ,并将其与子波变换特征进行比照研究 ,从而解决了... 将传统意义下的整数阶微分运算拓展到非整数阶微分情形 ,直接仿照整数阶微分在时域的极限定义形式是很困难的 .本文从分析微分运算的频域形式着手 ,将微分算子分解成幅度算子和相位算子 ,并将其与子波变换特征进行比照研究 ,从而解决了非整数阶微分的拓展问题 ,同时也得到了微分运算与子波变换的内在联系 ,为非整数阶微分计算提供了一种逼近方式 .文中提出了幅度算子。 展开更多
关键词 微分算子 子波构造 子波变换 信号处理
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聚苯胺/二氧化钛复合薄膜的制备及其气敏性能 被引量:13
8
作者 太惠玲 蒋亚东 +2 位作者 谢光忠 杜晓松 陈璇 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第6期883-888,共6页
室温条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜和聚苯胺(PANI)薄膜,并通过XPS和SEM对薄膜进行了分析表征.采用平面叉指电极式器件制备了PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜气体传... 室温条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜和聚苯胺(PANI)薄膜,并通过XPS和SEM对薄膜进行了分析表征.采用平面叉指电极式器件制备了PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜气体传感器,研究了其在常温下对有毒气体NH3和CO的敏感性能.结果表明,PANI/TiO2复合薄膜较PANI薄膜具有更优的灵敏度和响应恢复特性. 展开更多
关键词 PANI/TiO2 复合薄膜 气体传感器 NH3 CO
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高效白色磷光有机电致发光器件 被引量:11
9
作者 李璐 于军胜 +3 位作者 王军 娄双玲 蒋亚东 李伟 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1493-1497,共5页
采用真空热蒸镀方法以4,4′-bis(carbazol-9-yl)biphenyl(CBP)为主体材料、以bis[2-(4-tert-butylphenyl)benzothiazolato-N,C2′]iridium(acetylacetonate)[(t-bt)2Ir(acac)]磷光染料为掺杂剂构成黄色发光层,制备了高效白光的有机电致... 采用真空热蒸镀方法以4,4′-bis(carbazol-9-yl)biphenyl(CBP)为主体材料、以bis[2-(4-tert-butylphenyl)benzothiazolato-N,C2′]iridium(acetylacetonate)[(t-bt)2Ir(acac)]磷光染料为掺杂剂构成黄色发光层,制备了高效白光的有机电致发光器件(OLEDs).OLEDs的器件结构为indium tin oxide(ITO)/N,N′-bis-(1-naphthyl)-N,N′-biphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine(NPB)/CBP:(t-bt)2Ir(acac)/NPB/2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline(BCP)/8-hydroxyquinoline aluminum(Alq3)/Mg∶Ag,从ITO阳极开始的第一层NPB为空穴传输层,第二层超薄的NPB为蓝色发光层,BCP为空穴阻挡层和激子阻挡层,Alq3为电子传输层.结果表明,器件电压在3V启亮,在16.5V时,器件的最高亮度达到15460cd·m-2;在4V时,器件达到最大流明效率为7.5lm·W-1,器件启亮后所发出的白光光谱在低电压时随电压变化有稍微的移动,但是都在白光范围内变化.在电压达到8V后Commission Internationale de l′Eclairage(国际照明委员会)(CIE)色坐标为(0.33,0.32),并且光谱及色坐标稳定,不随电压变化而改变,与最佳的白光坐标(0.33,0.33)几乎重合.同时,从机理上解释了光谱移动和效率衰减的原因,并探讨了载流子陷阱和能量传递的关系. 展开更多
关键词 有机电致发光 白色发光 磷光 铱配合物 载流子陷阱 能量传递
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共孔径消热差红外双波段光学系统 被引量:16
10
作者 白瑜 廖志远 +5 位作者 廖胜 任栖峰 陈为 林妩媚 邢廷文 蒋亚东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期268-277,共10页
设计了适用于制冷型320×256中波红外凝视焦平面阵列探测器和320×256长波红外凝视焦平面阵列探测器的共孔径消热差折反射式红外双波段光学系统。该系统在中波3.7~4.8μm,长波7.7~11.7μm,环境温度10~40℃下工作,其焦距为292mm... 设计了适用于制冷型320×256中波红外凝视焦平面阵列探测器和320×256长波红外凝视焦平面阵列探测器的共孔径消热差折反射式红外双波段光学系统。该系统在中波3.7~4.8μm,长波7.7~11.7μm,环境温度10~40℃下工作,其焦距为292mm,视场角为1.56°×1.875°,F/#为1.93,满足100%冷光阑效率。设计的系统共用主镜、次镜和准直镜组,利用分光镜实现中波红外、长波红外光谱分光,后接各自的校正镜组校正剩余像差。给出了设计原理、设计过程和工程设计时需考虑的一些因素,通过选择合适的光学材料、机械材料和分配光焦度,实现了两路系统在10~40℃环境温度下具有良好的成像性能。该系统成像质量良好、可加工性好、装配难度小、工程可实施性强。 展开更多
关键词 光学设计 红外光学系统 双波段成像系统 共孔径结构
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硫系玻璃在现代红外热成像系统中的应用 被引量:16
11
作者 白瑜 廖志远 +3 位作者 李华 程习敏 邢廷文 蒋亚东 《中国光学》 EI CAS 2014年第3期449-455,共7页
介绍了硫系红外玻璃的组成成分,分析了其独特的优势,建立了红外热成像系统中各个参数和温度之间关系的数学模型。基于硫系玻璃折射率温度系数小、成本低的优点,将硫系玻璃应用于红外热成像探测系统,并给出了一种折射式的中波红外热成像... 介绍了硫系红外玻璃的组成成分,分析了其独特的优势,建立了红外热成像系统中各个参数和温度之间关系的数学模型。基于硫系玻璃折射率温度系数小、成本低的优点,将硫系玻璃应用于红外热成像探测系统,并给出了一种折射式的中波红外热成像消热差探测系统实例,评价结果表明,该系统在低温-40℃、常温20℃、高温60℃都取得了良好的成像质量,适用于像元数为320 pixel×256 pixel,像元尺寸为30μm×30μm的中波红外凝视型焦平面阵列探测器。 展开更多
关键词 红外探测 应用光学 光学设计 硫系玻璃
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碳纳米管表面化学镀银及场发射性能研究 被引量:15
12
作者 叶芸 肖晓晶 +2 位作者 郭太良 黎威志 蒋亚东 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1221-1224,共4页
利用化学镀方法对碳纳米管(carbon nano-tubes,CNTs)表面金属化镀银,研究表面化学镀银碳纳米管的场发射性能。碳纳米管经氧化处理后,表面存在一些羰基(CO)、羧基(—COOH)和羟基(—OH)等活性基团,经敏化、活化处理后,形成金属钯活化中... 利用化学镀方法对碳纳米管(carbon nano-tubes,CNTs)表面金属化镀银,研究表面化学镀银碳纳米管的场发射性能。碳纳米管经氧化处理后,表面存在一些羰基(CO)、羧基(—COOH)和羟基(—OH)等活性基团,经敏化、活化处理后,形成金属钯活化中心,进而还原金属银离子,从而获得表面化学镀银的碳纳米管。表面化学镀银碳纳米管阴极的开启电场约为0.19V/μm,当电场强度为0.37V/μm时,最大发射电流达6mA/cm2,场增强因子约为25565。实验结果表明,化学镀银层可以提高碳纳米管的电子传输和热传输能力,提高碳纳米管的场发射电流和发射稳定性,有利于碳纳米管在场发射平板显示领域的应用。 展开更多
关键词 碳纳米管 化学镀 AG 场发射
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革命性的新材料——黑硅 被引量:15
13
作者 姜晶 吴志明 +3 位作者 王涛 郭正宇 于贺 蒋亚东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期122-126,137,共6页
黑硅是一种新型的硅材料,具有优异的光电性质。概括了Eric Mazur以及其他研究者近年来关于黑硅的研究工作,详细介绍了黑硅的制备与产生机理以及黑硅的吸收、发光、场发射与光谱响应等性质,并指出了黑硅在红外探测器、太阳能电池以及平... 黑硅是一种新型的硅材料,具有优异的光电性质。概括了Eric Mazur以及其他研究者近年来关于黑硅的研究工作,详细介绍了黑硅的制备与产生机理以及黑硅的吸收、发光、场发射与光谱响应等性质,并指出了黑硅在红外探测器、太阳能电池以及平板显示器等领域的重要潜在应用价值。 展开更多
关键词 黑硅 飞秒激光器 微构造 光电性质
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氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜稳定性的研究进展 被引量:12
14
作者 廖乃镘 李伟 +3 位作者 蒋亚东 匡跃军 李世彬 吴志明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期21-24,共4页
氢化非晶硅(a-Si∶H)是一种重要的光敏感薄膜材料,其稳定性的好坏是决定能否应用于器件的重要因素之一。介绍了a-Si∶H薄膜稳定性的研究进展,论述了a-Si∶H薄膜的稳定性与Si-Si弱键的关系,分析了光致衰退效应(S-W效应)产生的几种机理,... 氢化非晶硅(a-Si∶H)是一种重要的光敏感薄膜材料,其稳定性的好坏是决定能否应用于器件的重要因素之一。介绍了a-Si∶H薄膜稳定性的研究进展,论述了a-Si∶H薄膜的稳定性与Si-Si弱键的关系,分析了光致衰退效应(S-W效应)产生的几种机理,提出了在薄膜制备和后处理过程中消除或减少Si-Si弱键以提高a-Si∶H薄膜稳定性的方法。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 稳定性 光致衰退效应 物理模型 稳定化处理
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微纳结构对电容式柔性压力传感器性能影响的研究 被引量:18
15
作者 全勇 魏雄邦 +5 位作者 肖伦 吴涛 庞韩英 吴双红 陈志 蒋亚东 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期337-340,共4页
设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究。该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜。然后... 设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究。该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜。然后采用喷涂法制备Ag NWs/PDMS复合电极,以另外一层PDMS为介电层,将两电极面对面封装,得到电容式柔性压力传感器,最后系统研究了传感器的电极微纳结构对器件性能的影响。本文研究表明,具有微纳结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为1.0 k Pa^(-1),而平面结构的Ag NWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为0.6 k Pa^(-1),由此可知具有微纳结构的柔性衬底能够显著提高器件的灵敏度。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 微纳结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 银纳米线
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PVDF薄膜的极化及其电性能研究 被引量:13
16
作者 叶芸 郭太良 +1 位作者 蒋亚东 黎威智 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期463-466,共4页
利用傅里叶红外光谱(FTIR)、示差扫描量热分析(DSC)、电滞回线和漏电流的分析,研究热极化和电晕极化对PVDF薄膜电性能的影响。结果表明,热极化和电晕极化都可以提高PVDF薄膜的铁电性能,但是不同的极化温度、极化电场强度和极化时间使得P... 利用傅里叶红外光谱(FTIR)、示差扫描量热分析(DSC)、电滞回线和漏电流的分析,研究热极化和电晕极化对PVDF薄膜电性能的影响。结果表明,热极化和电晕极化都可以提高PVDF薄膜的铁电性能,但是不同的极化温度、极化电场强度和极化时间使得PVDF薄膜具有不同的漏电流性能。在强电场作用下,热极化的温度更高,时间更长,偶极电荷的沿电场取向更完全,晶型向晶型的转变更彻底,因此剩余极化值、结晶度和晶型的含量均高于电晕极化后的薄膜。热极化中注入的空间电荷主要被PVDF的深阱俘获;而电晕极化过程中大量的空间电荷被聚合物材料的浅阱俘获。浅阱俘获的空间电荷稳定性要弱于深阱中的电荷,因此电晕极化的PVDF薄膜的漏电流需要更长的稳定时间。 展开更多
关键词 电晕极化 铁电性能 漏电流 PVDF薄膜 热极化
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基于Zig Bee协议的温度湿度无线传感器网络 被引量:65
17
作者 辛颖 谢光忠 蒋亚东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期82-84,88,共4页
阐述了一种温度湿度智能数据采集的无线传感器网络,介绍了传感器节点的软件与硬件设计。该系统基于Z ig Bee无线通信协议设计,克服了有线传感器网络的局限性,避免了其他无线通信技术的高功耗的缺点,节点成本低、网络容量大、生存周期长... 阐述了一种温度湿度智能数据采集的无线传感器网络,介绍了传感器节点的软件与硬件设计。该系统基于Z ig Bee无线通信协议设计,克服了有线传感器网络的局限性,避免了其他无线通信技术的高功耗的缺点,节点成本低、网络容量大、生存周期长。实验结果表明:温度测量精度为1℃,湿度精度为3%RH,可以广泛用于环境检测。 展开更多
关键词 温度 湿度 无线 传感器网络 紫蜂
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国外高变焦比中波红外镜头的研究进展 被引量:12
18
作者 白瑜 邢廷文 +2 位作者 李华 蒋亚东 冯成 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第3期795-802,共8页
与红外定焦镜头和红外两档变焦镜头相比,红外连续变焦镜头具有连续可变的视场,可对目标进行连续的跟踪,是未来红外成像技术的发展方向。随着光学冷加工、精密机械加工、镀膜技术等工艺水平的不断进步,以及现代科技的发展要求,红外变焦... 与红外定焦镜头和红外两档变焦镜头相比,红外连续变焦镜头具有连续可变的视场,可对目标进行连续的跟踪,是未来红外成像技术的发展方向。随着光学冷加工、精密机械加工、镀膜技术等工艺水平的不断进步,以及现代科技的发展要求,红外变焦镜头向高变焦比方向发展,同时还须保持良好的成像和消热差性能。概述了国外各种高变焦比中波红外镜头的结构和设计方法,包括20×高变焦比中波红外镜头、30×高变焦比中波红外镜头、300×高变焦比中波红外镜头,总结了一套高变焦比中波红外镜头设计经验,对国内高变焦比中波红外镜头的应用发展研究有借鉴价值。 展开更多
关键词 应用光学 光学设计 红外光学 中波红外 变焦镜头
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衬底温度对用RF-PECVD法制备的非晶硅薄膜光学性能影响 被引量:8
19
作者 李世彬 吴志明 +3 位作者 朱魁鹏 蒋亚东 李伟 廖乃镘 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1256,共5页
采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底... 采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底温度的变化规律.光谱式椭圆偏振仪中用ForouhiBloomer(FB)模型拟合得到薄膜的折射率(n),消光系数(k),膜厚及光学禁带宽度(Eg),并用扫描电镜(SEM)断面分析对椭偏仪测试结果的准确性进行验证.根据Tauc公式推出薄膜的Eg和截止波长,并和FB模型得到的结果进行了比较,Eg(FB)和Eg(Tauc)的差值在0.015eV内. 展开更多
关键词 非晶硅 光学常数 光学禁带 傅立叶红外光谱 薄膜
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公-自转磁控溅射镀膜系统薄膜沉积均匀性的研究 被引量:12
20
作者 于贺 王涛 +4 位作者 吴志明 蒋亚东 陈超 董翔 靖红军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期149-153,共5页
研究了公-自转磁控溅射镀膜系统的机理。通过物理建模,使用交点采集和时间步长划分两种模型,分别计算模拟了矩形靶沉积时间的三维分布图,并讨论自转与公转转速比对沉积时间均匀性的影响。模拟结果表明:两种模型仿真结果一致,验证了理论... 研究了公-自转磁控溅射镀膜系统的机理。通过物理建模,使用交点采集和时间步长划分两种模型,分别计算模拟了矩形靶沉积时间的三维分布图,并讨论自转与公转转速比对沉积时间均匀性的影响。模拟结果表明:两种模型仿真结果一致,验证了理论模型的正确性。同时得到结论:此公-自转系统可以通过调节转速比的方法来改善薄膜厚度的均匀性,采用文中指定工艺参数,当转速比等于0.5的时候,薄膜厚度最均匀。仿真得到的偏差结果与实验较好的吻合。 展开更多
关键词 磁控溅射 矩形靶 转速比 膜厚均匀性
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