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磁控溅射制备Au纳米颗粒及其局域表面等离激元共振特性研究
被引量：
3
1
作者
董大银
潘傲秋
+3 位作者
李培刚
沈静琴
王顺利
李超荣
《浙江理工大学学报（自然科学版）》
2015年第6期882-886,共5页
通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜,经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性,分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激...
通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜,经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性,分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激元共振的影响。研究表明:随着退火温度的升高,Au薄膜由各向异性的蠕虫状结构逐渐变成规则的纳米颗粒,退火温度越高,Au纳米颗粒越接近于圆形,颗粒间距越大,导致局域表面等离激元共振峰位发生蓝移,半峰宽变窄;另外溅射时间对Au纳米颗粒的影响也很大,随着溅射时间的增加,颗粒尺寸变大,变得不再均匀,局域表面等离激元共振峰发生红移、宽化和向长波段上扬。
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关键词
Au薄膜
局域表面等离激元共振
热退火
表面形貌
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职称材料
题名
磁控溅射制备Au纳米颗粒及其局域表面等离激元共振特性研究
被引量：
3
1
作者
董大银
潘傲秋
李培刚
沈静琴
王顺利
李超荣
机构
浙江理工大学光电材料与器件中心
出处
《浙江理工大学学报（自然科学版）》
2015年第6期882-886,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61274017)
浙江省大学生科技创新活动计划(2014R406083)
+2 种基金
浙江理工大学521人才计划
浙江省钱江人才计划(QJD1202004)
浙江省科技厅公益性技术应用研究计划项目(2014C37073)
文摘
通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜,经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性,分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激元共振的影响。研究表明:随着退火温度的升高,Au薄膜由各向异性的蠕虫状结构逐渐变成规则的纳米颗粒,退火温度越高,Au纳米颗粒越接近于圆形,颗粒间距越大,导致局域表面等离激元共振峰位发生蓝移,半峰宽变窄;另外溅射时间对Au纳米颗粒的影响也很大,随着溅射时间的增加,颗粒尺寸变大,变得不再均匀,局域表面等离激元共振峰发生红移、宽化和向长波段上扬。
关键词
Au薄膜
局域表面等离激元共振
热退火
表面形貌
Keywords
Au film
Localized surface plasmon resonance
thermal annealing
surface morphologies
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
O433.4 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射制备Au纳米颗粒及其局域表面等离激元共振特性研究
董大银
潘傲秋
李培刚
沈静琴
王顺利
李超荣
《浙江理工大学学报（自然科学版）》
2015
3
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