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MBE生长的GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs系中缺陷的研究
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作者 范缇文 阎春辉 +3 位作者 郑海群 孔梅影 田连地 周玉清 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期193-193,共1页
GaAs_(1-x)Sb_x作为有前途的长波长光电材料已受到了广泛的重视。但是由于GaAs_(1-x)Sb_x在GaAs衬底上进行外延生长时存在过大的晶格失配度(约7.5%)而遇到了较大的困难。为了提高材料的质量,对于GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs体系异质结界面失... GaAs_(1-x)Sb_x作为有前途的长波长光电材料已受到了广泛的重视。但是由于GaAs_(1-x)Sb_x在GaAs衬底上进行外延生长时存在过大的晶格失配度(约7.5%)而遇到了较大的困难。为了提高材料的质量,对于GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs体系异质结界面失配位错的分析已成为了有兴趣的研究课题。本文对用分子束外延(MBE)生长的GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs系材料的界面缺陷进行了横断面透射电子显微镜和高分辩电子显微镜的研究,目的在于了解界面的缺陷行为并探讨改进材料质量的途径。 展开更多
关键词 MBE GaAs-Sb/GaAs 缺陷 半导体材料
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In_(0.5)Ga_(0.5)P/GaAs材料系中有序结构的研究
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作者 范缇文 林兰英 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第3期307-311,共5页
利用光致发光(PL),横截面透射电子显微镜(XTEM)对金属有机物气相外延(MOVPE)生长的In0.5Ga0.5P/GaAs材料系中的有序结构进行了研究。实验结果指出:(1)材料中有序畴的尺寸,形状及分布特性极大地... 利用光致发光(PL),横截面透射电子显微镜(XTEM)对金属有机物气相外延(MOVPE)生长的In0.5Ga0.5P/GaAs材料系中的有序结构进行了研究。实验结果指出:(1)材料中有序畴的尺寸,形状及分布特性极大地依赖于材料的生长条件;(2)材料的光学性质和结构性质有密切关系。文中提出了一个物理模型,认为有序In0.5Ga0.5P材料是一种具有可变带尾态的Ⅱ型量子阱材料。 展开更多
关键词 外延材料 有序结构 光致发光 发光器件 电镜
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透射电子显微学在半导体材料科学中的应用
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作者 范缇文 林兰英 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第2期183-190,共8页
本文介绍了将透射电子显微学应用于半导体材料科学研究中的几个典型课题中所取得的研究结果,展示出从体单晶到超薄、多层异质结材料,从平面型异质结到非平面异质结材料的广泛领域中所获取的关于材料中"微区"、"微量"... 本文介绍了将透射电子显微学应用于半导体材料科学研究中的几个典型课题中所取得的研究结果,展示出从体单晶到超薄、多层异质结材料,从平面型异质结到非平面异质结材料的广泛领域中所获取的关于材料中"微区"、"微量"、"微观结构"的全方位信息,说明了透射电子显微学在半导体材料科学中起到的独特重要作用,而且随着半导体材料的日新月异的发展,其重要性将日趋明显。 展开更多
关键词 透射电子显微学 半导体材料科学 异质结材料
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砷离子注入的GeSi合金中沉淀相的研究
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作者 范缇文 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期517-517,共1页
砷离子注入的GeSi合金中沉淀相的研究范缇文(中国科学院半导体材料科学实验室,北京100083)杂质在GeSi合金中的扩散和沉淀过程仍是目前尚待进一步研究的课题。比如,作为GeSi合金的主要掺杂剂的元素砷以离子形态注... 砷离子注入的GeSi合金中沉淀相的研究范缇文(中国科学院半导体材料科学实验室,北京100083)杂质在GeSi合金中的扩散和沉淀过程仍是目前尚待进一步研究的课题。比如,作为GeSi合金的主要掺杂剂的元素砷以离子形态注入GeSi合金再经热退火,发现其中... 展开更多
关键词 硅化锗 合金 沉淀相 离子注入
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刻槽Si衬底上GaAs微结构研究
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作者 梁基本 范缇文 孔梅影 《半导体情报》 1991年第6期61-62,共2页
本文介绍在刻楷Si衬底上用分子束外延嵌入生长GaAs的异质共平面技术。用横截面透射电子显微镜对槽壁非平面异质结的生长行为和微结构进行了研究,结果表明:槽壁的几何因素对外延层的成核行为和生长行为有一定影响,和Si[001]晶面相比,Si[1... 本文介绍在刻楷Si衬底上用分子束外延嵌入生长GaAs的异质共平面技术。用横截面透射电子显微镜对槽壁非平面异质结的生长行为和微结构进行了研究,结果表明:槽壁的几何因素对外延层的成核行为和生长行为有一定影响,和Si[001]晶面相比,Si[113]可能是一个有利于半导体异质结生长的晶面。 展开更多
关键词 分子束外延 GAAS 微结构 刻槽
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MBE自组织生长多层竖直自对准InAs量子点结构的研究 被引量:1
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作者 朱东海 范缇文 +7 位作者 梁基本 徐波 朱战萍 龚谦 江潮 李含轩 周伟 王占国 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期228-231,共4页
利用MBE方法在(001)GaAs衬底上生长了多层竖直自对准InAs量子点结构.透射电子显微镜的观察表明,多层量子点成一系列柱状分布.同单层量子点相比,多层量子点的光荧光谱线发生红移.这表明由于量子点中载流子波函数的... 利用MBE方法在(001)GaAs衬底上生长了多层竖直自对准InAs量子点结构.透射电子显微镜的观察表明,多层量子点成一系列柱状分布.同单层量子点相比,多层量子点的光荧光谱线发生红移.这表明由于量子点中载流子波函数的扩展和交迭,柱中量子点之间有耦合现象发生. 展开更多
关键词 量子点 分子束外延 自组织生长 砷化铟
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Si_(1-x)Ge_x/Si界面区的会聚束电子衍射研究
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作者 秦志宏 柳得橹 +1 位作者 莫庆伟 范缇文 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期505-506,共2页
会聚束电子衍射(CBED)技术是研究材料中纳米级微小区域结构特征的重要方法,在材料,物理,晶体学等学科有广泛的应用,特别是应变异质材料性能的一种极为重要的研究技术。采用Tanaka大角会聚束衍射(LACBED)方法时... 会聚束电子衍射(CBED)技术是研究材料中纳米级微小区域结构特征的重要方法,在材料,物理,晶体学等学科有广泛的应用,特别是应变异质材料性能的一种极为重要的研究技术。采用Tanaka大角会聚束衍射(LACBED)方法时,由于入射束不聚焦在试样平面上,可... 展开更多
关键词 硅/锗硅 薄膜 会聚束电子衍射 界面
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Asymmetry in the Vertically Aligned Growth Induced InAs Islands in GaAs
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作者 GONG Qian WU Ju +4 位作者 XU Bo LIANG Ji-ben FAN Ti-wen WANG Zhan-guo BAI Yuan-qiang 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1998年第7期519-521,共3页
A 10-InAs-island-layer vertically coupled quantum dot structure on(001)GaAs was grown and investigated by molecular beam epitaxy and transmission electron microscopy.The result shows that the vertically aligned InAs i... A 10-InAs-island-layer vertically coupled quantum dot structure on(001)GaAs was grown and investigated by molecular beam epitaxy and transmission electron microscopy.The result shows that the vertically aligned InAs islands are asymmetrical along the two<110>directions on the(001)growth plane.Such an asymmetry in the vertically coupled quantum dot structure can be explained with the chemical polarity in the Ⅲ-Ⅳ compound semiconductors. 展开更多
关键词 QUANTUM VERTICAL STRUCTURE
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REGROWTH OF MBE-GaAs FILMS ON Si SUBSTRATES BY HIGH ENERGY ION-IMPLANTATION AND SUBSEQUENT ANNEALING
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作者 XIAO Guangming YIN Shiduan +5 位作者 ZHANG Jingping FAN Tiwen LIU Jiarui DING Aiju ZHOU Junming ZHU Peiruan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1989年第10期451-454,共4页
4.2MeV ^(7)Li channeling technique,laser Raman scattering spectrometry,and TEM have been utilized to study the regrowth of MBE-GaAs films of〜μm thick on Si substrates by Si^(+) implantation(0.6-2.6MeV)and subsequent ... 4.2MeV ^(7)Li channeling technique,laser Raman scattering spectrometry,and TEM have been utilized to study the regrowth of MBE-GaAs films of〜μm thick on Si substrates by Si^(+) implantation(0.6-2.6MeV)and subsequent rapid thermal annealing.The results showed that crystalline disorder was greatly reduced in the recrystalized layers especially at the interface. 展开更多
关键词 IMPLANTATION RATE utilized
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