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油封式机械真空泵抽气过程的残气质谱分析: 1; 作者林俊英范有裕《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期169-172,共4页; 一、前言对如何采取附加措施来减少油封式机械泵的返油污染,以获得清洁的预真空进行过探讨,并提供了一系列的预真空残气质谱图。; 关键词机械真空泵机械泵油封质谱图预真空真空度晶体表面极限真空真空管道油蒸气; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	油封式机械真空泵抽气过程的残气质谱分析	林俊英范有裕	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD	1989	0	在线阅读下载PDF 职称材料

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