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基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
1
作者
贺龙
李淑娴
+4 位作者
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期409-413,428,共6页
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探...
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
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关键词
关键尺寸原子力显微镜探针
深沟槽
大悬垂侧壁
大高宽比
有效高度
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职称材料
Aermet100钢高温变形动态再结晶晶粒演变行为
被引量：
1
2
作者
苗小浦
赵张龙
+3 位作者
孙朝远
谢静
李晖
姚泽坤
《精密成形工程》
2016年第3期11-14,44,共5页
目的研究高温变形对合金动态再结晶晶粒尺寸的影响。方法利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩,分析了动态再结晶晶粒在变形温度为800~1040℃、应变速率为0.01~10 s-1条件下的演变行为。结果研究发现,Aer...
目的研究高温变形对合金动态再结晶晶粒尺寸的影响。方法利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩,分析了动态再结晶晶粒在变形温度为800~1040℃、应变速率为0.01~10 s-1条件下的演变行为。结果研究发现,Aermet100钢动态再结晶晶粒随变形温度的升高而增大,随应变速率的增大而减小,高温、低应变速率变形后获得的动态再结晶晶粒尺寸较大,再结晶充分;低温、高应变速率获得的动态再结晶晶粒尺寸细小,但再结晶不完全。结论根据实验数据,建立了动态再结晶晶粒尺寸随Zener-Hollomon参数变化的理论模型,为Aermet100钢锻造工艺优化提供了理论依据。
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关键词
超高强度钢
动态再结晶
晶粒尺寸
ZENER-HOLLOMON参数
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职称材料
Aermet100超高强度钢热变形中的动态再结晶行为研究
被引量：
7
3
作者
孙朝远
谢静
+5 位作者
苗小浦
葛苗苗
李晖
魏明刚
闵武
赵张龙
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2017年第20期112-115,共4页
利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩试验,分析了不同变形参数下合金的流变行为,获得了合金在变形温度800~1040℃、应变速率0.01~10 s-1条件下的动态再结晶变化规律。结果表明:Aermet100钢动态再结晶程...
利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩试验,分析了不同变形参数下合金的流变行为,获得了合金在变形温度800~1040℃、应变速率0.01~10 s-1条件下的动态再结晶变化规律。结果表明:Aermet100钢动态再结晶程度随变形温度的升高而增大,随应变速率的增大而减小。根据试验数据,得出了动态再结晶程度为50%时的应变值ε0.5与Zener-Hollomon参数的关系模型,并建立了Aermet100钢热变形中的动态再结晶百分数模型,与试验值吻合较好。
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关键词
超高强度钢
动态再结晶
显微组织
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职称材料
题名
基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
1
作者
贺龙
李淑娴
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
机构
大连大学机械工程学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室
中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期409-413,428,共6页
基金
国家重点研发计划(2021YFB3201600)
国家自然科学基金(面上项目)(62074159)
苏州市科技计划项目(SSD2023001)
文摘
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
关键词
关键尺寸原子力显微镜探针
深沟槽
大悬垂侧壁
大高宽比
有效高度
Keywords
critical dimension atomic force microscopy probes
deep grooves
large overhanging sidewall
large aspect ratio
effective height
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Aermet100钢高温变形动态再结晶晶粒演变行为
被引量：
1
2
作者
苗小浦
赵张龙
孙朝远
谢静
李晖
姚泽坤
机构
西北工业大学材料学院
中国第二重型机械集团德阳万航模锻有限责任公司
出处
《精密成形工程》
2016年第3期11-14,44,共5页
文摘
目的研究高温变形对合金动态再结晶晶粒尺寸的影响。方法利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩,分析了动态再结晶晶粒在变形温度为800~1040℃、应变速率为0.01~10 s-1条件下的演变行为。结果研究发现,Aermet100钢动态再结晶晶粒随变形温度的升高而增大,随应变速率的增大而减小,高温、低应变速率变形后获得的动态再结晶晶粒尺寸较大,再结晶充分;低温、高应变速率获得的动态再结晶晶粒尺寸细小,但再结晶不完全。结论根据实验数据,建立了动态再结晶晶粒尺寸随Zener-Hollomon参数变化的理论模型,为Aermet100钢锻造工艺优化提供了理论依据。
关键词
超高强度钢
动态再结晶
晶粒尺寸
ZENER-HOLLOMON参数
Keywords
ultra-high strength steel
dynamic recrystallization
grain size
Zener-Hollomon parameter
分类号
TG142.1 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
Aermet100超高强度钢热变形中的动态再结晶行为研究
被引量：
7
3
作者
孙朝远
谢静
苗小浦
葛苗苗
李晖
魏明刚
闵武
赵张龙
机构
中国第二重型机械集团德阳万航模锻有限责任公司
西北工业大学材料学院
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2017年第20期112-115,共4页
文摘
利用Gleeble 3500热模拟试验机对Aermet100超高强度钢进行了热模拟压缩试验,分析了不同变形参数下合金的流变行为,获得了合金在变形温度800~1040℃、应变速率0.01~10 s-1条件下的动态再结晶变化规律。结果表明:Aermet100钢动态再结晶程度随变形温度的升高而增大,随应变速率的增大而减小。根据试验数据,得出了动态再结晶程度为50%时的应变值ε0.5与Zener-Hollomon参数的关系模型,并建立了Aermet100钢热变形中的动态再结晶百分数模型,与试验值吻合较好。
关键词
超高强度钢
动态再结晶
显微组织
Keywords
ultra-high strength steel
dynamic recrystallization
microstructure
分类号
TG113 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
贺龙
李淑娴
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
Aermet100钢高温变形动态再结晶晶粒演变行为
苗小浦
赵张龙
孙朝远
谢静
李晖
姚泽坤
《精密成形工程》
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
Aermet100超高强度钢热变形中的动态再结晶行为研究
孙朝远
谢静
苗小浦
葛苗苗
李晖
魏明刚
闵武
赵张龙
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2017
7
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职称材料
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