期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
被引量：
7
1
作者
余留洋
刘书博
+7 位作者
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期1-19,共19页
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯...
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发,梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准,概述了杂质离子的主要分析监测方法。重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法,特别是结晶法在磷酸深度净化方面的显著优势,最后,对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
展开更多
关键词
电子级磷酸
电子材料
纯化
结晶
技术集成
痕量杂质
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
被引量：
7
1
作者
余留洋
刘书博
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
机构
天津大学化工学院
云南云天化股份有限公司研发中心
出处
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期1-19,共19页
基金
国家自然科学基金面上项目(22278300)
国家自然科学基金重点项目(21938009)。
文摘
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发,梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准,概述了杂质离子的主要分析监测方法。重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法,特别是结晶法在磷酸深度净化方面的显著优势,最后,对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
关键词
电子级磷酸
电子材料
纯化
结晶
技术集成
痕量杂质
Keywords
electronic grade phosphoric acid
electronic materials
purification
crystallization
technology integration
trace impurity
分类号
TQ026.5 [化学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
余留洋
刘书博
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
