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紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究
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作者 苏星松 周飞 +2 位作者 许宗珂 李圆圆 段国韬 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期625-629,共5页
采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO_2气敏性能的影响。结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35... 采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO_2气敏性能的影响。结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35 m W/cm^3紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间。随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H_2S、SO_2和CH_4等气体具有很好的选择性。 展开更多
关键词 气敏性能 微纳有序多孔薄膜 灵敏度 紫外光 ZNO
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