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题名硅锭线切割张力控制方法对比研究
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作者
苏圣霖
罗福源
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机构
南京航空航天大学机电学院
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出处
《电加工与模具》
北大核心
2024年第S01期39-44,50,共7页
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文摘
为满足低成本、低切损、高精度、高稳定性的硅片切割要求,在分析常用的两种线切割张力控制方法优缺点的基础上,采用ADAMS软件进行了弹簧式张力控制原理的建模与动力学仿真,并基于Simulink与MFAC控制算法对电控式张力控制进行了ADAMS与MATLAB动力学联合仿真。结果表明,两种张力控制方法所得到的电极丝加速度变化曲线走势一致,电控式张力控制在快速性及精确性方面优于弹簧式张力控制,但平稳性较差。进而,提出弹簧与电控相结合的张力控制方法,并在ADAMS中完成建模与动力学仿真。结果表明,该装置可在一定程度上取长补短。
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关键词
恒张力控制
ADAMS建模
MFAC控制算法
电极丝加速度
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Keywords
constant tension control
ADAMS modeling
MFAC control algorithm
wire acceleration
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分类号
TG661
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG174
[金属学及工艺—金属表面处理]
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