-
题名有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究
被引量：4
- 1
-
-
作者
陈文彬
李国栋
胡琛
闫思家
芮大为
赵启义
-
机构
电子科技大学光电信息学院
-
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期21-23,共3页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(20472060)
四川省应用基础研究资助项目(JY0003)
-
文摘
通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响,例如,分子平均自由程(沉积压强)、掩膜板的尺寸以及掩膜板至基板的距离。分析表明,通过缩小掩膜板至基板的距离,同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案的分辨率,减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效率。
-
关键词
有机气相沉积
蒙特卡洛
沉积参数
分辨率
-
Keywords
OVPD
monte carlo
deposition parameters
resolution
-
分类号
TB43
[一般工业技术]
-
-
题名基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法
被引量：7
- 2
-
-
作者
梁传样
张巍
芮大为
隋永新
杨怀江
-
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心
中国科学院大学
-
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期95-101,共7页
-
基金
国家高技术研究发展计划(No.2015AA033201)资助~~
-
文摘
根据散斑产生的机理,利用像素点之间干涉的概念,提出了通过限制光场的位相分布范围来抑制投影图像中散斑对比度的方法.在部分发展散斑的条件下,推导了位相均匀分布情况下的散斑对比度公式,揭示了当相位分布范围在0.6π~2π之间时,散斑对比度随相位分布范围的变化而震荡变化,当把相位分布范围限制在0.6π以下时,散斑对比度会随相位分布范围的减小而迅速下降.建立了理想仿真模型和实际仿真模型来验证该方法的正确性和可行性.在理想仿真模型中,当位相分布范围从2π变到0,所得散斑图样对比度从66.44%降到0;在实际仿真模型中,模拟了实际激光投影系统的光路结构,并运用了两片衍射光学元件,一片用于激光整形匀化,一片用于光场的位相分布范围限制,散斑图样对比度从92.78%降低到2.09%.该方法稳定性高、耗能低、使用元件尺寸小,为全息投影显示的散斑抑制提供了参考.
-
关键词
衍射光学
散斑抑制
位相调制
衍射光学元件
全息投影显示
-
Keywords
Diffractive optics
Speckle
Phase modulation
Diffractive optical element
Holographic projection display
-
分类号
O436
[机械工程—光学工程]
-
-
题名基于LED光源的单片式DLP照明系统设计
被引量：5
- 3
-
-
作者
刘旖
林祖伦
祁康成
王小菊
芮大为
沈匿
-
机构
电子科技大学光电信息学院
-
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期99-103,共5页
-
基金
富通翱翔基金资助项目(FTAX201006)
-
文摘
在较小体积的照明系统中实现较好的照明效果是近年来微投影仪的主要发展方向。本文在对DLP(Digital Light Processing)微投影显示系统进行分析的基础上,提出了一种紧凑的基于LED光源的单片式DLP照明光路结构。当照明光斑尺寸满足0.3英寸的DMD(Digital Micromirror Devices)芯片时,中继系统的长度缩短至原来的50%左右。并利用ZEMAX软件分别对基于理想点光源和扩展面光源的照明系统进行了建模仿真。追迹50万条光线的仿真结果表明,本设计在两种光源模型下都可得到均匀的照明光斑,系统的光能利用率在33%左右。
-
关键词
DLP
微投影显示
照明均匀度
复眼透镜
中继系统
-
Keywords
DLP
micro-projection display
illumination uniformity
fly-eye lens
relay system
-
分类号
TN27
[电子电信—物理电子学]
-
