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浅谈一种多线切割机的摆动机构被引量：1: 1; 作者吴学宾胡孝伟 +1 位作者陈平谢耿勋《科技创新与应用》 2013年第6期80-80,共1页; 简要的介绍了多线切割机的种类和发展状况以及太阳能行业的现状,阐述了料摆动机构的结构设计和关键技术以及应用情况。; 关键词摆动机构多线切割机太阳能; 在线阅读下载PDF 职称材料

多线切割机悬臂系统仿真分析被引量：1: 2; 作者胡孝伟吴学宾 +1 位作者王明亮蒋云龙《电子工业专用设备》 2013年第1期39-42,共4页; 设计了多线切割机的悬臂系统,主要包括电气箱、转接块、显示器、警示灯、方管、圆管组成。针对多线切割机在使用中存在的噪声偏大,高转速下的振动影响产品品质稳定问题,通过Cosmosworks分析软件,对多线切割机的主要部件——悬臂系统,进... 展开更多; 关键词多线切割机悬臂系统频率分析结构优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

CMP抛光设备底座系统的模态仿真分析: 3; 作者胡孝伟刘福强 +1 位作者刘志伟张金环《电子工业专用设备》 2019年第2期59-62,共4页; 设计了一种化学机械抛光设备(CMP)的底座系统,主要包括地脚、方钢管、大铝板等。针对CMP设备在使用中存在的噪声偏大,高转速下的电机转动引起的共振影响晶圆抛光质量问题,通过MSC Patran分析软件,对CMP的主要部件——底座系统,进行了振... 展开更多; 关键词化学机械抛光设备(CMP) 底座系统频率分析结构优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

金刚线在硅晶体切割领域的应用研究被引量：6: 4; 作者赵雷李欢胡孝伟《电子工业专用设备》 2019年第3期33-36,共4页; 金刚石切割线近年来迅猛发展,通过与传统砂浆切割工艺对比分析优缺点,详细介绍了新材料金刚石切割线的分类、特性、结构原理、切割工作原理以及发展前景。; 关键词金刚线超精细损伤层碎片率; 在线阅读下载PDF 职称材料

无线射频识别技术在CMP设备中的应用被引量：2: 5; 作者刘志伟胡孝伟张金环《电子工业专用设备》 2019年第3期29-32,共4页; 介绍了无线射频识别技术的主要原理及其特点,通过对化学机械抛光(CMP)设备中片盒(Cassette)识别模块的分析,将无线射频识别技术(RFID)应用到化学机械抛光设备中,对Cassette上射频标签进行数据读写操作。射频标签中含有晶圆加工工艺信息... 展开更多; 关键词无线射频识别化学机械抛光数据读写射频标签; 在线阅读下载PDF 职称材料

CMP设备清洗单元控制软件研究: 6; 作者张金环胡孝伟刘志伟《电子工业专用设备》 2019年第5期21-25,52,共6页; 以应用材料公司设备为例介绍了CMP后清洗的工作原理;并针对兆声清洗和机械刷洗的软件需求做了深入分析;运用UML面向对象设计方法建立了可视化模型,对清洗单元的软件架构和设计方案进行了研究。; 关键词化学机械平坦化设备清洗单元控制软件软件设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

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