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题名自动检测设备高温下测试坐标修正方法
被引量：1
- 1
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作者
左宁
袁丽娟
胡奇威
霍鑫
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工艺技术》
2024年第1期51-55,共5页
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文摘
硅晶圆半导体芯片在进行晶圆级电性能测量时,往往需要模拟芯片实际工作时的工作环境,如温度、湿度、气压。在自动探针台上进行高温环境模拟测试时,由于高温会导致测针、晶圆片和承片卡盘产生一定程度的形变,从而使得芯片上测试Pad位置坐标发生偏移,这种情况下,测试系统需要对形变后的测试点坐标进行修正。提出了一种基于机器视觉自动图形识别的在线修正测试点坐标偏移方法,用以解决自动探针台在高温环境下进行电性能测试时的测试坐标修正难题。
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关键词
探针测试系统
坐标修正
高温形变
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Keywords
probe testing system
coordinate correction
high temperature deformation
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分类号
TN406
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于Modbus通讯协议的PLC运动控制研究
被引量：2
- 2
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作者
左宁
胡奇威
袁丽娟
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2024年第2期1-7,19,共8页
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文摘
在基于Modbus通讯协议的PLC运动控制系统中,PLC作为主站,通过Modbus协议与从站设备(如变频器、电机控制器等)进行通讯。探讨了如何在上位机工控软件中通过Modbus通讯协议与PLC运动控制器及PLC输入输出模块进行数据交换以及逻辑程控。
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关键词
MODBUS通讯协议
上位机PLC控制模块
电机控制器
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Keywords
Modbus communication protocol
Upper computer PLC control module
Motor controller
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于标记点识别的晶圆自动扫正方法研究
- 3
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作者
胡奇威
左宁
袁丽娟
张光宇
包敖日格乐
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2024年第6期32-37,共6页
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文摘
自动探针测试系统是硅晶圆半导体前道检测工艺中的关键设备之一,用来测量不同类型器件的多种电性能参数(如功率器件静态参数、微波器件S参数等)。在实际工艺线上,由于人为操作误差和外界环境干扰因素,探针台在测试前,必须对晶圆进行校准。针对这一问题,创新性地提出了一种基于标记点图像识别的晶圆自动扫正方法。经过验证,该方法校准精度高,工艺适应性强。
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关键词
探针测试系统
晶圆扫正
图像识别
测试工艺
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Keywords
Probe test system
Wafer aligning
Image recognition
Test technology
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名测试回路杂散电感消除技术研究
被引量：1
- 4
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作者
袁丽娟
荆茂盛
胡奇威
左宁
王洪洲
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第5期55-60,共6页
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文摘
由于测试回路中的杂散电感会在被测器件开通和关断的过程中感应出较高的电压尖峰,增大了被测器件的电压应力,严重影响被测器件相关参数的测试精度,甚至导致被测器件损坏。对高压探针测试系统测试回路中产生杂散电感的原理进行研究,通过仿真分析和优化设计,提出了一种在测试回路中采用叠层母排结构以降低杂散电感的解决办法。
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关键词
探针测试系统
杂散电感
叠层母排
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Keywords
Probe testing system
Stray inductance
Stacked busbar
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名矢量网络分析仪校准与程控研究
- 5
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作者
包敖日格乐
左宁
胡奇威
张光宇
张铎
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第6期33-40,87,共9页
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文摘
射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节,该测试技术依赖微波探针测试系统,微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测试系统的测量工具,其测量精度和程控效率直接决定了该系统在片测量的准确度和工作效率。对矢量网络分析仪的工作原理、S参数物理意义、校准工艺、测量工艺做了详细地介绍,并给出了矢量网络分析仪上位机程控方法。
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关键词
矢量网络分析仪
S参数
射频器件在片测试
微波探针测试系统
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Keywords
Vector network analyzer
S parameter
On-chip testing of RF devices
Microwave probe test system
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分类号
TP393.06
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于分区控制的探针台卡盘温度均匀性及变形研究
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作者
李俊
张世强
胡奇威
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2025年第3期11-16,52,共7页
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文摘
阐述了探针台卡盘的用途及设计要求,基于Abaqus CAE软件对探针台卡盘进行了温度仿真分析评估,并提出了一种加热片分区控制的方法,该方法显著提高了卡盘表面的温度均匀性。此外,探针台卡盘的温度试验结果与仿真结果吻合良好。仿真分析还预测了卡盘的热变形,结果表明其表面热变形较小,从而确保了探针台在高温测试中的精度。
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关键词
探针台卡盘
温度均匀性
分区控制
有限元分析
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Keywords
Probe station chuck
Temperature uniformity
Partition control
Finite element analysis
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分类号
TN305
[电子电信]
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