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多晶硅锭高氧浓度与少子寿命的研究 被引量:1
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作者 钟德京 邱家梁 +2 位作者 邹军 周浪 胡动力 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期758-762,共5页
在多晶硅定向凝固高少子、低氧区域通入含氧气体,研究氧浓度对多晶硅锭少子寿命的影响程度。研究结果表明,当间隙氧浓度低于4.5×1017cm-3时,对于铸造多晶硅少子寿命的影响非常小;当间隙氧浓度为4.5×1017~7.0×101... 在多晶硅定向凝固高少子、低氧区域通入含氧气体,研究氧浓度对多晶硅锭少子寿命的影响程度。研究结果表明,当间隙氧浓度低于4.5×1017cm-3时,对于铸造多晶硅少子寿命的影响非常小;当间隙氧浓度为4.5×1017~7.0×1017cm-3时,降低平均少子寿命0.50μs;当间隙氧浓度高于7.0×1017cm-3时,硅锭少子寿命受到极大影响,平均少子寿命降低到1.50μs,形成红区。因此,只有当铸造多晶硅尾部间隙氧浓度达到7.0×1017cm-3时,才可能形成尾部红区。 展开更多
关键词 多晶硅锭 铸锭 红区 少子寿命 间隙氧
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