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半导体硅材料最新发展现状 被引量:16
1
作者 蒋荣华 肖顺珍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期3-6,共4页
概述了现代微电子工业的发展状况及对半导体硅材料的新要求,叙述了近年来国际半导体多晶硅和单晶硅材料的发展状况与趋势。
关键词 半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料
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氮化物半导体的研究进展 被引量:1
2
作者 蒋荣华 肖顺珍 李艳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期16-20,共5页
叙述了GaN的研究进展及其材料制备的关键技术。
关键词 微电子 光电子 半导体材料 氮化物
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砷化镓材料的发展与前景 被引量:13
3
作者 蒋荣华 肖顺珍 《世界有色金属》 2002年第8期7-13,共7页
综述了世界GaAs材料的生长技术发展状况、生产状况、应用和市场状况及发展趋势。
关键词 砷化镓 微电子材料 光电子材料 单晶生长工艺 发展前景
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我国半导体硅材料的发展现状 被引量:6
4
作者 蒋荣华 肖顺珍 《半导体情报》 2001年第6期31-35,共5页
叙述了我国半导体硅材料的发展现状及与国外相比存在的差距 。
关键词 半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料
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GaN基材料的特性及光电器件应用 被引量:2
5
作者 蒋荣华 肖顺珍 《世界有色金属》 2003年第2期35-39,共5页
GaN具有禁带宽度大、热导率高、电子饱和漂移速度大,以及介电常数小等特点,因此,它们在 高亮度发光二极管、短波长激光二极管、高性能紫外探测器,以及在高温、高频、大功率半导体器件等领域有 着广泛的应用前景。
关键词 光电器件 微电子器件 氮化镓 热导率 介电常数 发光二权管
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