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无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法
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作者 万正喜 肖熳 易春光 《工具技术》 2014年第11期87-89,共3页
针对目前三维表面形貌测量存在测量精度低与测量速度慢等问题,研发设计了一种无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法,它具有测量精度高、速度快的优势。采用液晶空间光调制器改变照明角度,以及改变被测样品的探测深度,只需计算机控制... 针对目前三维表面形貌测量存在测量精度低与测量速度慢等问题,研发设计了一种无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法,它具有测量精度高、速度快的优势。采用液晶空间光调制器改变照明角度,以及改变被测样品的探测深度,只需计算机控制即可完成,无需执行元件,测量速度快。综合运用了图像传感器成像技术和图像高清晰三维处理技术,使得整个测量过程智能化。 展开更多
关键词 执行机构 曲面 精密测量
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