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题名直边衍射激光驻波场中铬原子的沉积特性研究
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作者
肖宇馨
张文涛
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机构
桂林电子科技大学电子工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期215-219,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11064002)
广西省自然科学基金资助项目(2012GXNSFAA053229
+3 种基金
2013GXNSFDA019002)
广西省科学研究与技术开发课题资助项目(桂科合1346010-5)
桂林市科学研究与技术开发计划资助项目(20130122-1)
桂林电子科技大学创新团队基金资助项目
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文摘
为了研究沉积基片对激光驻波场的影响,基于半经典理论,采用4阶龙格-库塔算法对直边衍射效应影响下铬原子的3维运动轨迹和3维沉积条纹结构进行了仿真。研究了激光束腰中心到反射镜的距离、高斯激光束腰半径对最终沉积过程的影响。结果表明,通过适当地调节实验参量,可以改变激光驻波场受到衍射效应的程度;当反射镜位于激光束腰截面处、高斯激光束腰半径为62.5μm时,纳米沉积条纹的质量最理想。这将为原子光刻实验提供有益的理论依据和数据信息。
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关键词
激光光学
衍射效应
龙格-库塔算法
高斯光束
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Keywords
laser optics
diffraction effect
Runge-Kutta algorithm
Gaussian beam
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响
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作者
肖宇馨
张文涛
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机构
桂林电子科技大学电子工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期785-789,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11064002)
广西省自然科学基金资助项目(2013GXNSFDA019002)
+1 种基金
广西省科学研究与技术开发课题资助项目(桂科合1346010-5)
桂林市科学研究与技术开发计划课题资助项目(20130122-1)
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文摘
为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响,利用半经典模型,采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法,模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构,研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明,基片摆放位置不同,沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变;当衍射边到反射镜的距离为0.81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0.01mm时,纳米光栅的半峰全宽最小,同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。
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关键词
激光技术
直边衍射
龙格-库塔算法
3维沉积
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Keywords
laser technique
straight edge diffraction
Runge-Kutta algorithm
3-D deposition
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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