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SiC激光退火欧姆接触模拟分析及实验研究
1
作者
邹东阳
李果
+3 位作者
李延锋
夏金宝
聂鸿坤
张百涛
《光电技术应用》
2024年第1期39-45,共7页
实现高可靠性、低电阻欧姆接触是获得高性能SiC功率半导体器件的前提,其直接决定功率器件的能耗水平。激光退火凭借局域化、温升快、控制灵活、精度高、连续能量输出稳定等优点,成为SiC功率器件的新一代主流退火技术。总结了近年来国内...
实现高可靠性、低电阻欧姆接触是获得高性能SiC功率半导体器件的前提,其直接决定功率器件的能耗水平。激光退火凭借局域化、温升快、控制灵活、精度高、连续能量输出稳定等优点,成为SiC功率器件的新一代主流退火技术。总结了近年来国内外SiC功率器件激光退火研究进展,详细模拟分析了激光退火原理中光热传输特性,设计了355 nm紫外激光退火实验系统,对Ni/SiC进行了激光退火实验,在激光能量密度为2.55 J/cm^(2)条件下,比接触电阻为9.49×10^(-5)Ω·cm^(2)。研究结果对SiC功率器件激光退火欧姆接触性能提升提供了理论和数据支撑。
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关键词
碳化硅(SiC)
半导体功率器件
欧姆接触
激光退火
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职称材料
高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展
被引量:
3
2
作者
王华行
毛佳佳
+7 位作者
叶帅
胡平
周雪
聂鸿坤
李涛
张百涛
何京良
杨克建
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第4期63-73,共11页
高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并...
高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并根据主要的激光器频率锁定方法,重点分析了H?nsch-Couillaud(H-C)频率锁定和Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定方法的优缺点以及连续波单频266 nm激光器发展现状,介绍了本课题组最新研究成果,即基于H-C频率锁定方法实现了功率1.1 W的单频连续波266 nm紫外激光稳定输出。最后,针对进一步提升全固态单频连续波266 nm激光器性能亟需解决的问题和可能解决路径进行了简要分析和展望。
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关键词
全固态单频连续波激光器
266
nm
共振增强
频率锁定
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职称材料
Tm^(3+)/Ho^(3+)离子掺杂中红外超快激光技术研究进展(特邀)
被引量:
1
3
作者
毛佳佳
胡平
+8 位作者
周雪
王华行
聂鸿坤
颜秉政
王瑞华
张百涛
李涛
杨克建
何京良
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第8期92-114,共23页
稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂中红外2μm波段超快激光由于广泛的应用前景成为近十余年来激光领域的研究热点之一。文中首先综述了稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂固体/光纤2μm波段超快激光锁模技术进展,包括主动锁模技术以及饱和吸收、克...
稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂中红外2μm波段超快激光由于广泛的应用前景成为近十余年来激光领域的研究热点之一。文中首先综述了稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂固体/光纤2μm波段超快激光锁模技术进展,包括主动锁模技术以及饱和吸收、克尔透镜、非线性偏振旋转、非线性光环形镜、非线性多模干涉等被动锁模技术;其次,结合激光增益介质及色散管理技术回顾了Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂固体和光纤锁模激光脉冲宽度压缩进展;再次,总结了Tm^(3+)/Ho^(3+)大能量/高功率超快激光技术及进展;最后,对2μm波段超快激光发展趋势进行了总结和展望。
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关键词
Tm^(3+)/Ho^(3+)
2μm波段
锁模激光
主动锁模
被动锁模
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职称材料
小型化亚纳秒YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG微片激光器
被引量:
2
4
作者
孙晓晖
宋海鹏
+3 位作者
叶帅
聂鸿坤
何京良
张百涛
《光电技术应用》
2022年第6期38-44,共7页
脉冲半导体激光(LD)泵浦被动调Q微片激光器是产生小型化、大能量(mJ量级)、亚纳秒激光脉冲的主要技术途径。基于速率方程理论推导了脉冲LD泵浦被动调Q微片激光器首脉冲建立时间及多脉冲间隔时间方程,数值求解并分析了泵浦功率、泵浦脉...
脉冲半导体激光(LD)泵浦被动调Q微片激光器是产生小型化、大能量(mJ量级)、亚纳秒激光脉冲的主要技术途径。基于速率方程理论推导了脉冲LD泵浦被动调Q微片激光器首脉冲建立时间及多脉冲间隔时间方程,数值求解并分析了泵浦功率、泵浦脉宽等参数对亚纳秒激光输出脉冲数目的影响规律,在此基础上搭建了脉冲LD端面泵浦YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG微片激光器,实现了单脉冲能量1.2 mJ、脉冲宽度574 ps、峰值功率2.1 MW,光束质量因子M^(2)=1.21的1064 nm近衍射极限亚纳秒脉冲激光输出。
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关键词
微片激光器
YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG晶体
被动调Q
速率方程
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职称材料
侧面脉冲泵浦Nd:YAG同步声光调Q激光器
被引量:
2
5
作者
宋海鹏
叶帅
+2 位作者
聂鸿坤
何京良
张百涛
《光电技术应用》
2023年第1期42-45,共4页
报道了脉冲半导体激光器侧面泵浦Nd:YAG同步声光调Q纳秒激光器。采用连续输出50 W的Nd:YAG侧面泵浦模块,当半导体激光器泵浦脉宽250μm、重复频率1 kHz、声光Q开关延时270μm时,实现了平均输出功率2.27 W、脉冲宽度71 ns的稳定调Q脉冲...
报道了脉冲半导体激光器侧面泵浦Nd:YAG同步声光调Q纳秒激光器。采用连续输出50 W的Nd:YAG侧面泵浦模块,当半导体激光器泵浦脉宽250μm、重复频率1 kHz、声光Q开关延时270μm时,实现了平均输出功率2.27 W、脉冲宽度71 ns的稳定调Q脉冲输出。
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关键词
侧面泵浦
声光调Q
同步调制
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职称材料
题名
SiC激光退火欧姆接触模拟分析及实验研究
1
作者
邹东阳
李果
李延锋
夏金宝
聂鸿坤
张百涛
机构
山东大学新一代半导体材料研究院晶体材料国家重点实验室
出处
《光电技术应用》
2024年第1期39-45,共7页
文摘
实现高可靠性、低电阻欧姆接触是获得高性能SiC功率半导体器件的前提,其直接决定功率器件的能耗水平。激光退火凭借局域化、温升快、控制灵活、精度高、连续能量输出稳定等优点,成为SiC功率器件的新一代主流退火技术。总结了近年来国内外SiC功率器件激光退火研究进展,详细模拟分析了激光退火原理中光热传输特性,设计了355 nm紫外激光退火实验系统,对Ni/SiC进行了激光退火实验,在激光能量密度为2.55 J/cm^(2)条件下,比接触电阻为9.49×10^(-5)Ω·cm^(2)。研究结果对SiC功率器件激光退火欧姆接触性能提升提供了理论和数据支撑。
关键词
碳化硅(SiC)
半导体功率器件
欧姆接触
激光退火
Keywords
Silicon Carbide(SiC)
semiconductor power devices
ohmic contact
laser annealing
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展
被引量:
3
2
作者
王华行
毛佳佳
叶帅
胡平
周雪
聂鸿坤
李涛
张百涛
何京良
杨克建
机构
山东大学晶体材料国家重点实验室新一代半导体材料研究院
山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第4期63-73,共11页
基金
国家自然科学基金(62175130)。
文摘
高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一。文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并根据主要的激光器频率锁定方法,重点分析了H?nsch-Couillaud(H-C)频率锁定和Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定方法的优缺点以及连续波单频266 nm激光器发展现状,介绍了本课题组最新研究成果,即基于H-C频率锁定方法实现了功率1.1 W的单频连续波266 nm紫外激光稳定输出。最后,针对进一步提升全固态单频连续波266 nm激光器性能亟需解决的问题和可能解决路径进行了简要分析和展望。
关键词
全固态单频连续波激光器
266
nm
共振增强
频率锁定
Keywords
all-solid-state single-frequency CW laser
266 nm
resonance enhancement
frequency locking
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Tm^(3+)/Ho^(3+)离子掺杂中红外超快激光技术研究进展(特邀)
被引量:
1
3
作者
毛佳佳
胡平
周雪
王华行
聂鸿坤
颜秉政
王瑞华
张百涛
李涛
杨克建
何京良
机构
山东大学晶体材料国家重点实验室新一代半导体材料研究院
山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室
山东大学深圳研究院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第8期92-114,共23页
基金
国家重点研发计划(2017YFB0405204)
量子光学与光量子器件国家重点实验室开放课题(KF201908)
深圳市科技计划项目(JCYJ 20180305163932273)。
文摘
稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂中红外2μm波段超快激光由于广泛的应用前景成为近十余年来激光领域的研究热点之一。文中首先综述了稀土离子Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂固体/光纤2μm波段超快激光锁模技术进展,包括主动锁模技术以及饱和吸收、克尔透镜、非线性偏振旋转、非线性光环形镜、非线性多模干涉等被动锁模技术;其次,结合激光增益介质及色散管理技术回顾了Tm^(3+)/Ho^(3+)掺杂固体和光纤锁模激光脉冲宽度压缩进展;再次,总结了Tm^(3+)/Ho^(3+)大能量/高功率超快激光技术及进展;最后,对2μm波段超快激光发展趋势进行了总结和展望。
关键词
Tm^(3+)/Ho^(3+)
2μm波段
锁模激光
主动锁模
被动锁模
Keywords
Tm^(3+)/Ho^(3+)
2μm wave band
mode-locked laser
active mode-locking
passive mode-locking
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
小型化亚纳秒YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG微片激光器
被引量:
2
4
作者
孙晓晖
宋海鹏
叶帅
聂鸿坤
何京良
张百涛
机构
山东大学新一代半导体材料研究院
出处
《光电技术应用》
2022年第6期38-44,共7页
基金
国家自然科学基金(61975095)。
文摘
脉冲半导体激光(LD)泵浦被动调Q微片激光器是产生小型化、大能量(mJ量级)、亚纳秒激光脉冲的主要技术途径。基于速率方程理论推导了脉冲LD泵浦被动调Q微片激光器首脉冲建立时间及多脉冲间隔时间方程,数值求解并分析了泵浦功率、泵浦脉宽等参数对亚纳秒激光输出脉冲数目的影响规律,在此基础上搭建了脉冲LD端面泵浦YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG微片激光器,实现了单脉冲能量1.2 mJ、脉冲宽度574 ps、峰值功率2.1 MW,光束质量因子M^(2)=1.21的1064 nm近衍射极限亚纳秒脉冲激光输出。
关键词
微片激光器
YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG晶体
被动调Q
速率方程
Keywords
microchip laser
YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG crystal
passive Q-switching
rate equation
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
侧面脉冲泵浦Nd:YAG同步声光调Q激光器
被引量:
2
5
作者
宋海鹏
叶帅
聂鸿坤
何京良
张百涛
机构
山东大学新一代半导体材料研究院
出处
《光电技术应用》
2023年第1期42-45,共4页
基金
国家自然科学基金(61975095)。
文摘
报道了脉冲半导体激光器侧面泵浦Nd:YAG同步声光调Q纳秒激光器。采用连续输出50 W的Nd:YAG侧面泵浦模块,当半导体激光器泵浦脉宽250μm、重复频率1 kHz、声光Q开关延时270μm时,实现了平均输出功率2.27 W、脉冲宽度71 ns的稳定调Q脉冲输出。
关键词
侧面泵浦
声光调Q
同步调制
Keywords
side-pump
acoustic-optic Q-switched
synchronous modulation
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SiC激光退火欧姆接触模拟分析及实验研究
邹东阳
李果
李延锋
夏金宝
聂鸿坤
张百涛
《光电技术应用》
2024
0
在线阅读
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职称材料
2
高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展
王华行
毛佳佳
叶帅
胡平
周雪
聂鸿坤
李涛
张百涛
何京良
杨克建
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
3
在线阅读
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职称材料
3
Tm^(3+)/Ho^(3+)离子掺杂中红外超快激光技术研究进展(特邀)
毛佳佳
胡平
周雪
王华行
聂鸿坤
颜秉政
王瑞华
张百涛
李涛
杨克建
何京良
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
小型化亚纳秒YAG/Nd:YAG/Cr^(4+):YAG微片激光器
孙晓晖
宋海鹏
叶帅
聂鸿坤
何京良
张百涛
《光电技术应用》
2022
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
侧面脉冲泵浦Nd:YAG同步声光调Q激光器
宋海鹏
叶帅
聂鸿坤
何京良
张百涛
《光电技术应用》
2023
2
在线阅读
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职称材料
已选择
0
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引证文献
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