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MEMS压阻式加速度传感器的研究进展
被引量：
3
1
作者
范树新
耿振亚
聂丽梅
《采矿技术》
2008年第4期120-121,147,共3页
介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
关键词
MEMS压阻式加速度传感器
研究现状
发展趋势
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
MEMS压阻式加速度传感器的研究进展
被引量：
3
1
作者
范树新
耿振亚
聂丽梅
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《采矿技术》
2008年第4期120-121,147,共3页
文摘
介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
关键词
MEMS压阻式加速度传感器
研究现状
发展趋势
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
MEMS压阻式加速度传感器的研究进展
范树新
耿振亚
聂丽梅
《采矿技术》
2008
3
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