双频激光干涉仪在机床检定中的应用 被引量：8

1

作者 羡一民 俞成栋 +2 位作者 于光华 于东升 曹益平 《制造技术与机床》 CSCD 1995年第5期8-11,共4页

介绍了双频激光干涉仪在机床检定中检定数控机床位置精度，检定直线度、垂直度和平面度的方法，还介绍了影响测量精度的因素。

关键词 激光干涉仪 机床检定 位置精度 垂直度 平面度

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激光干涉仪技术及发展 被引量：19

2

作者 羡一民 王科峰 《工具技术》 北大核心 2003年第11期68-74,共7页

关键词 单频激光干涉仪 外差激光干涉仪 带宽 增益 技术发展

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基于位相检测的光学三维轮廓测量方法 被引量：2

3

作者 羡一民 舒阳 薛梅 《工具技术》 北大核心 2006年第11期71-74,共4页

三维轮廓测量是当前光学研究领域中非常活跃的一个技术分支,其中位相测量轮廓术(PMP)在求解中严格遵循物像共轭关系,具有较高的测量精度。DMD器件的出现,更推进了PMP技术的发展。本文重点讨论了位相测量轮廓术(PMP)测量中的典型问题,介... 三维轮廓测量是当前光学研究领域中非常活跃的一个技术分支,其中位相测量轮廓术(PMP)在求解中严格遵循物像共轭关系,具有较高的测量精度。DMD器件的出现,更推进了PMP技术的发展。本文重点讨论了位相测量轮廓术(PMP)测量中的典型问题,介绍了PMP的应用现状。 展开更多

关键词 光学三维轮廓测量 位相检测 数字微镜器件

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激光波长补偿问题 被引量：2

4

作者 羡一民 薛梅 《工具技术》 北大核心 2004年第9期142-143,共2页

关键词 激光干涉仪 激光波长 补偿方法 误差源 原理 正确使用

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激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五 被引量：11

5

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 2015年第2期79-85,共7页

激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点,在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。

关键词 激光干涉仪 激光跟踪仪 纳米计量 机床检测

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干涉法测量直线度的原理分析 被引量：3

6

作者 羡一民 刘洋 《工具技术》 北大核心 2015年第5期101-103,共3页

分析了激光直线度干涉仪的原理,阐述了在激光直线度干涉仪中用Wollaston棱镜作为感知元件的合理性,证明了系统对光束漂移有自适应性,能够实时消除漂移误差,有较强的抗干扰性。

关键词 直线度 激光干涉仪

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双频激光干涉仪的原理与应用（一） 被引量：13

7

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第4期44-46,共3页

双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力... 双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不... 展开更多

关键词 干涉仪 双频激光干涉仪

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He-Ne激光的波长检测及稳频技术——激光干涉仪技术综述之二 被引量：3

8

作者 羡一民 《工具技术》 2014年第11期80-85,共6页

介绍了He-Ne激光的稳频原理及波长检测方法,分析了Lamb凹陷、纵向塞曼、横向塞曼及双纵模等几种典型的稳频系统的技术特点。

关键词 激光干涉仪 稳频技术 波长 塞曼效应 光学频率梳

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激光干涉仪的基本类型——激光干涉仪技术系列综述之一 被引量：3

9

作者 羡一民 《工具技术》 2014年第7期84-87,共4页

分析了几种典型的激光干涉仪系统的原理和特点,介绍了基于双折射—塞曼双频激光器,输出频差在3-40MHz范围,是外差激光干涉仪最合适的使用频段,具有很好的应用前景。

关键词 激光干涉仪 精密计量 塞曼效应 双折射 声光调制

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折射率修正技术——激光干涉仪技术综述之四 被引量：2

10

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 2015年第1期77-81,共5页

波长误差是激光干涉仪的重要误差源,而折射率的变化直接影响波长精度,本文介绍了激光折射率修正的原理,比较了间接、绝对、相对三种实用折射率修正方法的特点,分析了折射率修正的算法,进而提出一些正确使用激光干涉仪的方法。

关键词 激光干涉仪 折射率测量 Elden公式 实时修正 瑞利干涉仪

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双频激光干涉仪的原理与应用（二） 被引量：4

11

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第5期43-45,共3页

双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不... 双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合，可测量距离、直线度、... 展开更多

关键词 干涉仪 双频激光干涉仪

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双频激光干涉仪的原理与应用（四） 被引量：2

12

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第7期41-45,共5页

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一... 双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装... 展开更多

关键词 干涉仪 双频激光干涉仪

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第六届中国国际机床展览会(CIMT’99)量仪展品概述 被引量：1

13

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 2000年第2期3-12,共10页

1　三坐标测量机在本届展览会中,国内外许多厂家展出了三坐标测量机,各具特色。以下将展出的三坐标测量机分为五类予以介绍。1.1　气浮导轨式三坐标测量机气浮导轨的摩擦系数小,运动平稳轻快,大多数三坐标测量机均采用此类导轨,因此成... 1　三坐标测量机在本届展览会中,国内外许多厂家展出了三坐标测量机,各具特色。以下将展出的三坐标测量机分为五类予以介绍。1.1　气浮导轨式三坐标测量机气浮导轨的摩擦系数小,运动平稳轻快,大多数三坐标测量机均采用此类导轨,因此成为三坐标测量机的主流机型。笔者将所... 展开更多

关键词 三坐标测量机 机床 展览会

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用MJS双频激光干涉仪指导数控机床位置度误差的修正

14

作者 羡一民 曹益平 《工具技术》 北大核心 2000年第3期36-38,共3页

介绍了利用MJS双频激光干涉仪的检测数据指导数控机床位置度误差修正的方法及应用实例 。

关键词 激光干涉仪 误差修正 数控机床 位置度误差

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激光干涉仪的信号处理系统——激光干涉仪技术综述之三

15

作者 羡一民 《工具技术》 2014年第12期80-84,共5页

介绍了激光干涉仪的信号处理方法,分析了单频激光干涉仪中消除直流漂移的方法,双频激光干涉仪中的减法器、频率解调、相位解调技术的特点。

关键词 激光干涉仪 鉴频器 鉴相器 细分技术 减法器

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双频激光干涉仪的原理与应用（三）

16

作者 羡一民 《工具技术》 北大核心 1996年第6期43-45,共3页

双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头... 双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜... 展开更多

关键词 干涉仪 双频激光干涉仪

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激光干涉仪波长的自动实时补偿 被引量：7

17

作者 薛梅 羡一民 于东升 《工具技术》 北大核心 2005年第8期90-92,共3页

介绍了激光干涉仪在现场测量中激光波长的补偿,通过分析激光干涉仪测量数据处理公式,提出了波长补偿值用终端修正的方式进行自动实时补偿的理论。

关键词 激光干涉仪 激光波长 实时补偿 终端修正 自动 测量数据处理 现场测量 补偿值 终端

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激光角度干涉仪测量精度的几个影响因素 被引量：7

18

作者 舒阳 邱易 羡一民 《工具技术》 北大核心 2008年第5期72-74,共3页

激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器,但是其测量精度受到诸多因素的影响。本文讨论了激光角度干涉仪的一些误差来源并介绍了减小这些误差影响的方法。

关键词 激光角度干涉仪 传递函数 俯仰 滚摆 摇摆

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