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题名激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究
被引量：2
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作者
侯占杰
唐星
罗穆伟
王振
李运波
朱玉斌
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机构
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期136-140,共5页
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文摘
为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe(CO)5为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0×106W/cm2、激光频率为2.5k Hz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层。通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量。结果表明,通过激光诱导,以Fe(CO)5为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积。
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关键词
激光技术
化学液相沉积
副产物
激光功率密度
沉积层厚度
Fe(CO)5
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Keywords
laser technique
chemical liquid deposition
byproduct
laser power density
deposition layer thickness
Fe（ CO） 5
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分类号
O644.18
[理学—物理化学]
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