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一种100V分离栅沟槽MOSFET的优化设计
被引量：
3
1
作者
罗小梦
王立新
+1 位作者
杨尊松
王路璐
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2017年第10期11-15,共5页
把多个侧壁阶梯氧化层应用于分离栅沟槽MOSFET(Split-Gate Trench MOSFET,SGT结构),并把改进的结构称为多阶梯侧壁氧化层分离栅沟槽MOSFET(Multi-Step Sidewall Oxides Split-Gate Trench MOSFET,MSO结构),之后介绍了MSO结构的器件结构...
把多个侧壁阶梯氧化层应用于分离栅沟槽MOSFET(Split-Gate Trench MOSFET,SGT结构),并把改进的结构称为多阶梯侧壁氧化层分离栅沟槽MOSFET(Multi-Step Sidewall Oxides Split-Gate Trench MOSFET,MSO结构),之后介绍了MSO结构的器件结构和制备工艺,重点借助TCAD仿真软件对MSO结构的外延层掺杂浓度、顶部侧氧厚度与底部侧氧厚度进行优化,最终仿真得到击穿电压为126V,特征导通电阻为30.76mΩ·mm^2和特征栅漏电荷为0.351nC·mm^(-2)的MSO结构.在近似相等的击穿电压下,与传统SGT结构相比,MSO结构的特征导通电阻及特征栅漏电荷均有所降低,这两项参数综合反映器件的优值(FOM=Qgd,sp×RonA)降低了39.6%.
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关键词
分离栅
MSO结构
特征导通电阻
特征栅漏电荷
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职称材料
磁性纳米Fe_(3)O_(4)制备及在酵母RNA提取分析中的应用
被引量：
2
2
作者
王萍萍
李浩辰
+5 位作者
彭玉
罗小梦
朱丽华
王宏
陈芳
王楠
《大学化学》
CAS
2022年第6期91-101,共11页
磁珠法提取核酸是新冠病毒核酸检测的关键一环。基于此,以安全无毒的酵母RNA为对象,开发了一个涉及多学科化学知识交叉的综合实验,包括Fe_(3)O_(4)纳米磁珠制备与表征、RNA提取方法建立与机制探究、实际样品应用等。本实验既能锻炼学生...
磁珠法提取核酸是新冠病毒核酸检测的关键一环。基于此,以安全无毒的酵母RNA为对象,开发了一个涉及多学科化学知识交叉的综合实验,包括Fe_(3)O_(4)纳米磁珠制备与表征、RNA提取方法建立与机制探究、实际样品应用等。本实验既能锻炼学生综合运用化学知识和实验手段解决实际问题的能力,又能引导学生关注公共事件,培养其社会责任感。
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关键词
核酸提取
Fe_(3)O_(4)
酵母RNA
FT-IR
紫外光度法
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职称材料
题名
一种100V分离栅沟槽MOSFET的优化设计
被引量：
3
1
作者
罗小梦
王立新
杨尊松
王路璐
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院硅器件技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2017年第10期11-15,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB0901800)
文摘
把多个侧壁阶梯氧化层应用于分离栅沟槽MOSFET(Split-Gate Trench MOSFET,SGT结构),并把改进的结构称为多阶梯侧壁氧化层分离栅沟槽MOSFET(Multi-Step Sidewall Oxides Split-Gate Trench MOSFET,MSO结构),之后介绍了MSO结构的器件结构和制备工艺,重点借助TCAD仿真软件对MSO结构的外延层掺杂浓度、顶部侧氧厚度与底部侧氧厚度进行优化,最终仿真得到击穿电压为126V,特征导通电阻为30.76mΩ·mm^2和特征栅漏电荷为0.351nC·mm^(-2)的MSO结构.在近似相等的击穿电压下,与传统SGT结构相比,MSO结构的特征导通电阻及特征栅漏电荷均有所降低,这两项参数综合反映器件的优值(FOM=Qgd,sp×RonA)降低了39.6%.
关键词
分离栅
MSO结构
特征导通电阻
特征栅漏电荷
Keywords
split-gate
MSO structure
specific on-resistance
specific gate-drain charge
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
磁性纳米Fe_(3)O_(4)制备及在酵母RNA提取分析中的应用
被引量：
2
2
作者
王萍萍
李浩辰
彭玉
罗小梦
朱丽华
王宏
陈芳
王楠
机构
华中科技大学化学与化工学院
出处
《大学化学》
CAS
2022年第6期91-101,共11页
基金
华中科技大学教学研究项目(2021109)。
文摘
磁珠法提取核酸是新冠病毒核酸检测的关键一环。基于此,以安全无毒的酵母RNA为对象,开发了一个涉及多学科化学知识交叉的综合实验,包括Fe_(3)O_(4)纳米磁珠制备与表征、RNA提取方法建立与机制探究、实际样品应用等。本实验既能锻炼学生综合运用化学知识和实验手段解决实际问题的能力,又能引导学生关注公共事件,培养其社会责任感。
关键词
核酸提取
Fe_(3)O_(4)
酵母RNA
FT-IR
紫外光度法
Keywords
Nucleic acid extraction
Fe_(3)O_(4)
Yeast RNA
FT-IR
UV spectrophotometry
分类号
G64 [文化科学—高等教育学]
O6 [理学—化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种100V分离栅沟槽MOSFET的优化设计
罗小梦
王立新
杨尊松
王路璐
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2017
3
在线阅读
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职称材料
2
磁性纳米Fe_(3)O_(4)制备及在酵母RNA提取分析中的应用
王萍萍
李浩辰
彭玉
罗小梦
朱丽华
王宏
陈芳
王楠
《大学化学》
CAS
2022
2
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职称材料
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