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使用测试图形法优化亚分辨率辅助图形
1
作者
齐晶
史峥
+1 位作者
林斌
罗凯升
《华东理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期365-369,共5页
在亚波长光刻领域,基于规则插入亚分辨率辅助图形是一种重要的技术。现有的方法需要利用经验改善亚分辨率辅助图形,且不考虑光学邻近校正的效果。提出了一种新的利用测试图形优化亚分辨率辅助图形的方法。与一般的光学邻近校正流程结合...
在亚波长光刻领域,基于规则插入亚分辨率辅助图形是一种重要的技术。现有的方法需要利用经验改善亚分辨率辅助图形,且不考虑光学邻近校正的效果。提出了一种新的利用测试图形优化亚分辨率辅助图形的方法。与一般的光学邻近校正流程结合,该方法能解决工艺窗口过小和亚分辨率辅助图形刻出等问题。通过对标准电路版图的测试,对边放置误差和工艺窗口进行了测量。边放置误差相比传统方法减小了10%,同时,不同工艺窗条件下的边放置误差也有改善。
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关键词
可制造性设计
光刻
亚分辨率辅助图形
光学邻近校正
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职称材料
用于光刻系统仿真的多边形处理算法
2
作者
吕楠
史峥
+1 位作者
罗凯升
耿臻
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第9期124-127,共4页
为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193nm,...
为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193nm,数值孔径为0.3~0.8,部分相干系数可调范围为0.2~0.8,可一次性仿真1μm×1μm到10μm×10μm范围内的45 nm^0.18μm工艺的复杂版图,并通过多次实验进行验证。实验结果表明:原版图图像的边缘细节得到保留,且该算法有效地减少了光刻模拟的计算复杂度与计算时间,整体效率提升20%以上,为当前智能传感器系统芯片的制造节省了宝贵时间。
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关键词
传感器
多边形切分
光刻仿真
光学邻近效应
部分相干系数
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职称材料
圈闭评价与油气勘探决策
3
作者
罗凯升
贾希玉
翁宁
《新疆石油地质》
CAS
CSCD
1997年第1期24-29,共6页
圈闭综合评价是依据圈闭条件、石油地质条件、经济条件,综合反映圈闭品质的过程.综合评价的结论可直观地、快捷地为勘探决策提供重要依据.本文在综合分析准噶尔盆地已知油气藏和已钻圈闭的石油地质研究成果的基础上,进行了评价参数归类...
圈闭综合评价是依据圈闭条件、石油地质条件、经济条件,综合反映圈闭品质的过程.综合评价的结论可直观地、快捷地为勘探决策提供重要依据.本文在综合分析准噶尔盆地已知油气藏和已钻圈闭的石油地质研究成果的基础上,进行了评价参数归类和参数的选值方法的研究,这对提高圈闭评价结果的可靠性具有重要意义.
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关键词
圈闭
综合评价
油气勘探
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职称材料
题名
使用测试图形法优化亚分辨率辅助图形
1
作者
齐晶
史峥
林斌
罗凯升
机构
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
出处
《华东理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期365-369,共5页
基金
国家"十一五"高端通用芯片科技重太专项(2008ZX01035-001-06)
文摘
在亚波长光刻领域,基于规则插入亚分辨率辅助图形是一种重要的技术。现有的方法需要利用经验改善亚分辨率辅助图形,且不考虑光学邻近校正的效果。提出了一种新的利用测试图形优化亚分辨率辅助图形的方法。与一般的光学邻近校正流程结合,该方法能解决工艺窗口过小和亚分辨率辅助图形刻出等问题。通过对标准电路版图的测试,对边放置误差和工艺窗口进行了测量。边放置误差相比传统方法减小了10%,同时,不同工艺窗条件下的边放置误差也有改善。
关键词
可制造性设计
光刻
亚分辨率辅助图形
光学邻近校正
Keywords
design for manufaeturability （DFM）
lithography
sub-resolution assist features （SRAF）
optical proximity correction （OPC）
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
用于光刻系统仿真的多边形处理算法
2
作者
吕楠
史峥
罗凯升
耿臻
机构
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第9期124-127,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(61204111)
文摘
为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193nm,数值孔径为0.3~0.8,部分相干系数可调范围为0.2~0.8,可一次性仿真1μm×1μm到10μm×10μm范围内的45 nm^0.18μm工艺的复杂版图,并通过多次实验进行验证。实验结果表明:原版图图像的边缘细节得到保留,且该算法有效地减少了光刻模拟的计算复杂度与计算时间,整体效率提升20%以上,为当前智能传感器系统芯片的制造节省了宝贵时间。
关键词
传感器
多边形切分
光刻仿真
光学邻近效应
部分相干系数
Keywords
sensor
polygon segmentation
lithography simulation
optical proximity correction（OPC）
partiallycoherent coefficient
分类号
TP312 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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职称材料
题名
圈闭评价与油气勘探决策
3
作者
罗凯升
贾希玉
翁宁
机构
石油地质
出处
《新疆石油地质》
CAS
CSCD
1997年第1期24-29,共6页
文摘
圈闭综合评价是依据圈闭条件、石油地质条件、经济条件,综合反映圈闭品质的过程.综合评价的结论可直观地、快捷地为勘探决策提供重要依据.本文在综合分析准噶尔盆地已知油气藏和已钻圈闭的石油地质研究成果的基础上,进行了评价参数归类和参数的选值方法的研究,这对提高圈闭评价结果的可靠性具有重要意义.
关键词
圈闭
综合评价
油气勘探
Keywords
Trap Comprehensive evaluation Oil and gas exploration
分类号
P618.130.2 [天文地球]
P618.130.8 [天文地球—矿床学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
使用测试图形法优化亚分辨率辅助图形
齐晶
史峥
林斌
罗凯升
《华东理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用于光刻系统仿真的多边形处理算法
吕楠
史峥
罗凯升
耿臻
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
圈闭评价与油气勘探决策
罗凯升
贾希玉
翁宁
《新疆石油地质》
CAS
CSCD
1997
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职称材料
已选择
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