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硅基单结太阳能电池的制备技术、缺陷及其性能的研究 被引量:8
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作者 季鑫 杨德仁 答建成 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期15-18,28,共5页
首先综述了硅基单结太阳能电池的分类、制备方法及进展,介绍了化学气相沉积法、液相外延法(LPPE)、金属诱导结晶法(MIC)、磁控溅射法以及分子束外延法等各种硅基太阳能电池的制备方法,阐述了各种制备工艺的优缺点。其次,总结了单晶硅、... 首先综述了硅基单结太阳能电池的分类、制备方法及进展,介绍了化学气相沉积法、液相外延法(LPPE)、金属诱导结晶法(MIC)、磁控溅射法以及分子束外延法等各种硅基太阳能电池的制备方法,阐述了各种制备工艺的优缺点。其次,总结了单晶硅、多晶硅以及非晶硅太阳能电池在组织结构、缺陷方面的研究现状。最后,对硅基太阳能电池的机械、电学、光学以及光电性能等方面的研究进展做了论述。 展开更多
关键词 硅基单结太阳能电池 制备方法 单晶硅 多晶硅 非晶硅 缺陷 力学性能
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