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基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究
被引量：
3
1
作者
端方
张海刚
+5 位作者
孙巍
朱建鹏
王贤浩
邱婷婷
王英
杨明来
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期711-723,共13页
由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方...
由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方案:利用双目视觉结合图像处理技术测量出样品表面的深度信息。实验结果表明,该方法显著提高了微纳样品表面深度信息的精准度,为SEM图像三维构建提供了新的思路和方法,为FIB-SEM系统的精细加工提供了有力的保障。
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关键词
FIB-SEM双束系统
三维重建
双目立体视觉
数字图像处理
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职称材料
改进分水岭算法的扫描电镜图像标定
2
作者
朱建鹏
王英
+3 位作者
孙巍
端方
王贤浩
杨明来
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第8期24-28,共5页
针对不同探测器模式下扫描电镜图像特征复杂且易受阴影干扰的问题,提出了基于改进分水岭算法的扫描电镜图像标定方法。首先,通过自适应滤波、梯度变换等预处理流程减少噪声影响,同时保留真实信息;然后,针对分水岭标记存在的阴影干扰问题...
针对不同探测器模式下扫描电镜图像特征复杂且易受阴影干扰的问题,提出了基于改进分水岭算法的扫描电镜图像标定方法。首先,通过自适应滤波、梯度变换等预处理流程减少噪声影响,同时保留真实信息;然后,针对分水岭标记存在的阴影干扰问题,采用自适应改进方法,使得标记的获取更具普适性,可适用于不同的探测器模式。棋盘格样品测试结果表明,该方法在InLens和SE2探测器模式下表现良好,并在综合评价指标上明显优于其他标定方法。将标定结果按照参考标尺与人工测量数据进行对比,两者相对误差在7%以内。
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关键词
分水岭变换
扫描电镜
微观分析
图像处理
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职称材料
题名
基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究
被引量：
3
1
作者
端方
张海刚
孙巍
朱建鹏
王贤浩
邱婷婷
王英
杨明来
机构
上海应用技术大学轨道交通学院
上海交大-平湖智能光电研究院
吉林农业大学信息技术学院
上海交通大学先进电子材料与器件平台
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期711-723,共13页
基金
上海交通大学-平湖智能光电研究院开放项目(No.2022SPI0E203)。
文摘
由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方案:利用双目视觉结合图像处理技术测量出样品表面的深度信息。实验结果表明,该方法显著提高了微纳样品表面深度信息的精准度,为SEM图像三维构建提供了新的思路和方法,为FIB-SEM系统的精细加工提供了有力的保障。
关键词
FIB-SEM双束系统
三维重建
双目立体视觉
数字图像处理
Keywords
FIB-SEM dual beam system
3D reconstruction
binocular stereo vision
digital image processing
分类号
TP317.4 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
TB302 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
改进分水岭算法的扫描电镜图像标定
2
作者
朱建鹏
王英
孙巍
端方
王贤浩
杨明来
机构
上海交大-平湖智能光电研究院
上海应用技术大学轨道交通学院
上海交通大学先进电子材料与器件平台
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第8期24-28,共5页
基金
上海交通大学平湖智能光电研究院开放基金重点项目(2022SPI0E203)。
文摘
针对不同探测器模式下扫描电镜图像特征复杂且易受阴影干扰的问题,提出了基于改进分水岭算法的扫描电镜图像标定方法。首先,通过自适应滤波、梯度变换等预处理流程减少噪声影响,同时保留真实信息;然后,针对分水岭标记存在的阴影干扰问题,采用自适应改进方法,使得标记的获取更具普适性,可适用于不同的探测器模式。棋盘格样品测试结果表明,该方法在InLens和SE2探测器模式下表现良好,并在综合评价指标上明显优于其他标定方法。将标定结果按照参考标尺与人工测量数据进行对比,两者相对误差在7%以内。
关键词
分水岭变换
扫描电镜
微观分析
图像处理
Keywords
watershed transformation
scanning electron microscopy(SEM)
microanalysis
image processing
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究
端方
张海刚
孙巍
朱建鹏
王贤浩
邱婷婷
王英
杨明来
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
3
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职称材料
2
改进分水岭算法的扫描电镜图像标定
朱建鹏
王英
孙巍
端方
王贤浩
杨明来
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
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