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不锈钢表面溅射氮化铝陶瓷膜工艺参数的研究
被引量：
1
1
作者
何晓冬
马希直
章何菁
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期754-758,共5页
工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的。利用氮化铝(AlN)陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收。利用射频磁控溅射技术,在不锈钢表面沉积AlN薄膜。利用X线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM...
工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的。利用氮化铝(AlN)陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收。利用射频磁控溅射技术,在不锈钢表面沉积AlN薄膜。利用X线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)等设备对AlN薄膜结构表征,并对结果进行了讨论。
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关键词
氮化铝薄膜
射频磁控溅射
不锈钢
中间过渡层
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职称材料
题名
不锈钢表面溅射氮化铝陶瓷膜工艺参数的研究
被引量：
1
1
作者
何晓冬
马希直
章何菁
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期754-758,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51475229)
文摘
工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的。利用氮化铝(AlN)陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收。利用射频磁控溅射技术,在不锈钢表面沉积AlN薄膜。利用X线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)等设备对AlN薄膜结构表征,并对结果进行了讨论。
关键词
氮化铝薄膜
射频磁控溅射
不锈钢
中间过渡层
Keywords
AIN th in f i lms
radio- frequ ency m ag n e tro n s p u t te r in g
s ta in le s s s te e l
in te rm ed ia te t ra n s i t io n layer
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不锈钢表面溅射氮化铝陶瓷膜工艺参数的研究
何晓冬
马希直
章何菁
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017
1
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