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热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响被引量：2: 1; 作者穆健刚张凤戈 +4 位作者李建奎梁俊才王铁军周武平赵栋梁《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1267-1271,共5页; 基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-T... 展开更多; 关键词铁磁性靶材磁记录热处理漏磁率; 在线阅读下载PDF 职称材料

钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响被引量：2: 2; 作者穆健刚梁俊才 +2 位作者张凤戈王铁军赵栋梁《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第18期143-146,共4页; 研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系。; 关键词靶材涂层磁控溅射; 在线阅读下载PDF 职称材料

Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响被引量：1: 3; 作者穆健刚梁俊才 +3 位作者王铁军赵栋梁张凤戈赵海波《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第2期208-211,216,共5页; 研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明：等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多... 展开更多; 关键词硬质涂层 TI N涂层钛靶材; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同相结构Ti_(33)Al_(67)靶材磁控溅射薄膜对比研究: 4; 作者穆健刚梁俊才 +3 位作者张凤戈王铁军周武平赵栋梁《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期184-188,共5页; 采用磁控溅射的方法,选用化学成分相同而相结构完全不同的两种靶材在硬质合金基体上沉积薄膜,使用X射线衍射、扫描电镜、X射线能谱仪和压痕法分别测量了薄膜的相结构、表面形貌、薄膜的化学成分和薄膜与基体的结合力,结果表明,未合金化... 展开更多; 关键词薄膜磁控溅射生长机理相结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同微观组织Ti靶对TiN薄膜微观结构和性能的影响: 5; 作者穆健刚梁俊才 +3 位作者王铁军张凤戈周武平赵栋梁《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2017年第24期181-184,189,共5页; 采用四种不同微观组织的钛靶,在同一沉积条件下在高速钢基底上磁控溅射得到氮化钛薄膜。研究了该四种氮化钛薄膜的表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒、断口形貌、薄膜厚度、纳米硬度和相结构等。结果表明:随着等轴晶钛靶的晶粒尺寸的增大... 展开更多; 关键词硬质涂层氮化钛薄膜微观结构高速钢; 在线阅读下载PDF 职称材料

溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响被引量：7: 6; 作者梁俊才周武平 +2 位作者张凤戈穆健刚赵海波《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期714-719,共6页; 采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性... 展开更多; 关键词溅射靶材 TIALN涂层形貌结构硬度结合强度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响被引量：2: 1; 作者穆健刚张凤戈李建奎梁俊才王铁军周武平赵栋梁; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1267-1271,共5页; 文摘基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。; 关键词铁磁性靶材磁记录热处理漏磁率; Keywords Ferromagnetic target Magnetic record Heat treatment Pass through flux; 分类号 TG156.31 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响被引量：2: 2; 作者穆健刚梁俊才张凤戈王铁军赵栋梁; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司; 出处《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第18期143-146,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51275323) 国家科技重大专项资助项目(2012ZX04003011); 文摘研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系。; 关键词靶材涂层磁控溅射; Keywords target coating magnetron sputtering; 分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响被引量：1: 3; 作者穆健刚梁俊才王铁军赵栋梁张凤戈赵海波; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司四川大学; 出处《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第2期208-211,216,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51275323) 国家科技重大专项资助项目(2012ZX04003011); 文摘研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明：等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多,表面的粗糙度越大,涂层颗粒尺寸越大,纳米硬度越小;纳米硬度的大小与涂层的相结构关系密切;采用魏氏组织钛靶溅射得到的Ti N涂层性能最优。; 关键词硬质涂层 TI N涂层钛靶材; Keywords hard coating TiN coating titanium target; 分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同相结构Ti_(33)Al_(67)靶材磁控溅射薄膜对比研究: 4; 作者穆健刚梁俊才张凤戈王铁军周武平赵栋梁; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期184-188,共5页; 文摘采用磁控溅射的方法,选用化学成分相同而相结构完全不同的两种靶材在硬质合金基体上沉积薄膜,使用X射线衍射、扫描电镜、X射线能谱仪和压痕法分别测量了薄膜的相结构、表面形貌、薄膜的化学成分和薄膜与基体的结合力,结果表明,未合金化靶材中Al和Ti在溅射过程中部分发生了化合反应生成了Al2Ti相,但还有密排六方的Ti相存在,未合金化靶材薄膜的晶粒大于合金化靶材薄膜的晶粒,薄膜结合强度优于合金化靶材薄膜。本文认为两种靶材的薄膜在沉积过程中生长机理不同,未合金化靶材薄膜与基体有很好的润湿性,以层状结构生长,而合金化靶薄膜与基体的润湿性差,岛状生长倾向明显。; 关键词薄膜磁控溅射生长机理相结构; Keywords Film Magnetron sputtering Growth mechanism Phase structure; 分类号 TB79 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同微观组织Ti靶对TiN薄膜微观结构和性能的影响: 5; 作者穆健刚梁俊才王铁军张凤戈周武平赵栋梁; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司; 出处《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2017年第24期181-184,189,共5页; 文摘采用四种不同微观组织的钛靶,在同一沉积条件下在高速钢基底上磁控溅射得到氮化钛薄膜。研究了该四种氮化钛薄膜的表面形貌、表面粗糙度、表面颗粒、断口形貌、薄膜厚度、纳米硬度和相结构等。结果表明:随着等轴晶钛靶的晶粒尺寸的增大,氮化钛薄膜的表面粗糙度减小,表面颗粒尺寸、薄膜中氮含量、柱状晶尺寸、薄膜厚度、硬度均先变小后变大。魏氏组织钛靶沉积得到的氮化钛薄膜具有表面光滑、表面颗粒细小、柱状晶细小、硬度居中等特点。薄膜的硬度主要与薄膜中Ti N(111)的择优取向程度有关,择优取向度越高,硬度越高。; 关键词硬质涂层氮化钛薄膜微观结构高速钢; Keywords hard coating TiN film microstructure high speed steel; 分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响被引量：7: 6; 作者梁俊才周武平张凤戈穆健刚赵海波; 机构钢铁研究总院安泰科技股份有限公司北京市镀膜靶材重点实验室四川大学分析测试中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期714-719,共6页; 基金国家自然科学项目(No.51275323); 文摘采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性能的影响。结果表明:粉末靶材中Ti和Al以单质相存在,Ti镶嵌于Al基体周围,熔炼靶材中形成了TiAl和Ti3Al合金化片层组织;由于两种靶材在组织结构和导热性能上的不同导致其溅射产额、靶材温度和溅射金属离子能量等都出现了明显的差异;对涂层的影响表现为,相比于熔炼靶材涂层,粉末靶材涂层的沉积速率高44%,表面粗糙度低24%,涂层表面熔滴数目和尺寸较小;粉末靶材涂层呈现Ti2AlN相等轴晶生长方式,熔炼靶材涂层由于沉积温度较高表现为Ti2AlN相和TiN相,以等轴晶和柱状晶混合生长;相结构的不同导致涂层的硬度和结合强度出现差异,粉末靶材涂层硬度为25.69 GPa,结合强度属于HF-3,熔炼靶材涂层的硬度为28.22 GPa,结合强度属于HF-5。; 关键词溅射靶材 TIALN涂层形貌结构硬度结合强度; Keywords Sputtering target TiAIN coating Morphology Structure Hardness Adhesion; 分类号 TB716 [一般工业技术—真空技术] TB741 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响	穆健刚张凤戈李建奎梁俊才王铁军周武平赵栋梁	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响	穆健刚梁俊才张凤戈王铁军赵栋梁	《热加工工艺》 CSCD 北大核心	2014	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响	穆健刚梁俊才王铁军赵栋梁张凤戈赵海波	《热加工工艺》 CSCD 北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	不同相结构Ti_(33)Al_(67)靶材磁控溅射薄膜对比研究	穆健刚梁俊才张凤戈王铁军周武平赵栋梁	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	不同微观组织Ti靶对TiN薄膜微观结构和性能的影响	穆健刚梁俊才王铁军张凤戈周武平赵栋梁	《热加工工艺》 CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响	梁俊才周武平张凤戈穆健刚赵海波	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	7	在线阅读下载PDF 职称材料