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低温反应溅射Al+α-Al2O3复合靶沉积α-Al2O3薄膜
被引量：
4
1
作者
程奕天
邱万奇
+4 位作者
周克崧
刘仲武
焦东玲
钟喜春
张辉
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第8期862-866,共5页
低温沉积α-Al2O3薄膜是拓展其实际工程应用的关键。本研究以Al、α-Al2O3和Al+15wt%α-Al2O3为靶材,用射频磁控溅射在Si(100)基体上沉积氧化铝薄膜。用掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、能谱仪(EDS)对所沉积薄膜的相结构...
低温沉积α-Al2O3薄膜是拓展其实际工程应用的关键。本研究以Al、α-Al2O3和Al+15wt%α-Al2O3为靶材,用射频磁控溅射在Si(100)基体上沉积氧化铝薄膜。用掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、能谱仪(EDS)对所沉积薄膜的相结构和元素含量进行研究,用纳米压痕技术测量薄膜硬度。结果表明,在550℃的基体温度下,反应射频磁控溅射Al+α-Al2O3靶可获得单相α-Al2O3薄膜。靶中的α-Al2O3溅射至基片表面能优先形成α-Al2O3晶核,在550℃及以上的基体温度下可抑制γ相形核,促进α-Al2O3晶核同质外延生长,并最终形成单相α-Al2O3薄膜。
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关键词
Α-AL2O3
反应溅射
复合靶
低温沉积
纳米压痕
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职称材料
题名
低温反应溅射Al+α-Al2O3复合靶沉积α-Al2O3薄膜
被引量：
4
1
作者
程奕天
邱万奇
周克崧
刘仲武
焦东玲
钟喜春
张辉
机构
华南理工大学材料科学与工程学院
广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第8期862-866,共5页
基金
国家自然科学基金(51271079)
广东省科技计划项目(2017B030314122)
广州市科技计划项目(201607010091)~~
文摘
低温沉积α-Al2O3薄膜是拓展其实际工程应用的关键。本研究以Al、α-Al2O3和Al+15wt%α-Al2O3为靶材,用射频磁控溅射在Si(100)基体上沉积氧化铝薄膜。用掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、能谱仪(EDS)对所沉积薄膜的相结构和元素含量进行研究,用纳米压痕技术测量薄膜硬度。结果表明,在550℃的基体温度下,反应射频磁控溅射Al+α-Al2O3靶可获得单相α-Al2O3薄膜。靶中的α-Al2O3溅射至基片表面能优先形成α-Al2O3晶核,在550℃及以上的基体温度下可抑制γ相形核,促进α-Al2O3晶核同质外延生长,并最终形成单相α-Al2O3薄膜。
关键词
Α-AL2O3
反应溅射
复合靶
低温沉积
纳米压痕
Keywords
α-Al2O3
reactive sputtering
composite target
low-temperature deposition
nano-indentation
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低温反应溅射Al+α-Al2O3复合靶沉积α-Al2O3薄膜
程奕天
邱万奇
周克崧
刘仲武
焦东玲
钟喜春
张辉
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
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