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子孔径检测及拼接的矩阵分析
被引量:
4
1
作者
白剑
程上彝
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第7期77-80,共4页
在两个子孔径拼接原理的基础上提出了子孔径拼接目标函数,并通过建立每个子孔径的相关矩阵及相关向量,每个重叠区的拟合矩阵及拟合向量,运用矩阵变换实现了子孔径的拼接,从而实现了大口径面形的测量.该方法简单易行,且避免了误差...
在两个子孔径拼接原理的基础上提出了子孔径拼接目标函数,并通过建立每个子孔径的相关矩阵及相关向量,每个重叠区的拟合矩阵及拟合向量,运用矩阵变换实现了子孔径的拼接,从而实现了大口径面形的测量.该方法简单易行,且避免了误差传递和积累.
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关键词
光学仪器
矩阵分析
子孔径
检测
干涉仪
拼接
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职称材料
非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
被引量:
3
2
作者
白剑
曹天宁
+1 位作者
程上彝
杨国光
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
2000年第1期105-109,共5页
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) ...
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图”
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关键词
条纹扫描技术
非球面面形检测
干涉图
数字分析
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职称材料
显微物镜数字剪切波面像差评价仪
3
作者
白剑
程上彝
+1 位作者
刘承
杨国光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期285-288,296,共5页
本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ...
本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ/20。
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关键词
剪切波面
有限元
显微镜
像质评价仪
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职称材料
利用空间拟合函数实现超象元边界检测
被引量:
1
4
作者
张晓
杨国光
程上彝
《计量学报》
CSCD
1996年第3期236-240,共5页
在对成象系统调制传递函数的分析基础上,研究了边界的定义及用空间拟合函数实现超象元边界检测的原理和技术方法,并给出了计算机模拟结果和实验结果。
关键词
调制传递函数
超象元
空间拟合函数
边界检测
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职称材料
表面微观形貌的非接触测量
被引量:
1
5
作者
董大年
程上彝
杨国渝
《光学工程》
CSCD
1989年第1期25-30,共6页
本文介绍了光学显微轮廓仪中干涉图象的数据采集、条纹扫描实时处理系统,在APPLE—Ⅱ微机控制下进行表面轮廓各种粗糙度参数的计算,实现了对薄膜元件、磁带等表面微观形貌的非接触式测量。
关键词
表面轮廓
非接触测量
干涉
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职称材料
题名
子孔径检测及拼接的矩阵分析
被引量:
4
1
作者
白剑
程上彝
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第7期77-80,共4页
文摘
在两个子孔径拼接原理的基础上提出了子孔径拼接目标函数,并通过建立每个子孔径的相关矩阵及相关向量,每个重叠区的拟合矩阵及拟合向量,运用矩阵变换实现了子孔径的拼接,从而实现了大口径面形的测量.该方法简单易行,且避免了误差传递和积累.
关键词
光学仪器
矩阵分析
子孔径
检测
干涉仪
拼接
Keywords
optical instruments
subaperture
connection
matrix analysis
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
被引量:
3
2
作者
白剑
曹天宁
程上彝
杨国光
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
2000年第1期105-109,共5页
文摘
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图”
关键词
条纹扫描技术
非球面面形检测
干涉图
数字分析
Keywords
interference
fringe\|scanning technique
aspherical surface
分类号
TG839 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
显微物镜数字剪切波面像差评价仪
3
作者
白剑
程上彝
刘承
杨国光
机构
浙江大学光学仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期285-288,296,共5页
基金
机械工业部科技重点基金
文摘
本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ/20。
关键词
剪切波面
有限元
显微镜
像质评价仪
Keywords
Shearing wavefront,Infinite element.
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
利用空间拟合函数实现超象元边界检测
被引量:
1
4
作者
张晓
杨国光
程上彝
机构
中国科学院空间科学与应用研究中心
现代光学仪器国家重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
1996年第3期236-240,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
在对成象系统调制传递函数的分析基础上,研究了边界的定义及用空间拟合函数实现超象元边界检测的原理和技术方法,并给出了计算机模拟结果和实验结果。
关键词
调制传递函数
超象元
空间拟合函数
边界检测
Keywords
MTF
Edge
Super—pixel
Spatial fit function
分类号
TN919.8 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
表面微观形貌的非接触测量
被引量:
1
5
作者
董大年
程上彝
杨国渝
机构
浙江大学光仪系
出处
《光学工程》
CSCD
1989年第1期25-30,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文介绍了光学显微轮廓仪中干涉图象的数据采集、条纹扫描实时处理系统,在APPLE—Ⅱ微机控制下进行表面轮廓各种粗糙度参数的计算,实现了对薄膜元件、磁带等表面微观形貌的非接触式测量。
关键词
表面轮廓
非接触测量
干涉
分类号
TH741.3 [机械工程—光学工程]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
子孔径检测及拼接的矩阵分析
白剑
程上彝
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
4
在线阅读
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职称材料
2
非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
白剑
曹天宁
程上彝
杨国光
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
2000
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
显微物镜数字剪切波面像差评价仪
白剑
程上彝
刘承
杨国光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
利用空间拟合函数实现超象元边界检测
张晓
杨国光
程上彝
《计量学报》
CSCD
1996
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
表面微观形貌的非接触测量
董大年
程上彝
杨国渝
《光学工程》
CSCD
1989
1
在线阅读
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职称材料
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