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高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
1
作者
汪桂根
崔林
+3 位作者
韩杰才
王新中
严帅
秦国双
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期1498-1503,共6页
首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺...
首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究。SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24 h后,其图形形貌没有发生明显改变;在温度低于1200℃的高温热处理1 h后,图形仍然存在。HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24 h后再在1000℃高温热处理1 h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜;并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高。本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备。
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关键词
蓝宝石
图形衬底
电子束光刻
剥离
发光二极管
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职称材料
题名
高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
1
作者
汪桂根
崔林
韩杰才
王新中
严帅
秦国双
机构
哈尔滨工业大学深圳研究生院
哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
深圳信息职业技术学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期1498-1503,共6页
基金
国家自然科学基金(61240015)
广东省自然科学基金(9451805707003351
+3 种基金
S2012010010030)
深圳市基础研究计划项目(JCYJ20120613134210982
JCYJ20120615101957810)
哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSFIR.2011123)
文摘
首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究。SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24 h后,其图形形貌没有发生明显改变;在温度低于1200℃的高温热处理1 h后,图形仍然存在。HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24 h后再在1000℃高温热处理1 h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜;并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高。本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备。
关键词
蓝宝石
图形衬底
电子束光刻
剥离
发光二极管
Keywords
sapphire
patterned substrate
E-Beam lithography
lift-off
LED
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
汪桂根
崔林
韩杰才
王新中
严帅
秦国双
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
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