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基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
被引量:
1
1
作者
王向东
陈咏梅
+1 位作者
王守觉
石林初
《自动化学报》
EI
CSCD
北大核心
2001年第3期289-295,共7页
以提高半导体生产线的成品率为目标 ,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化 .首先使用神经网络方法建立模型 ,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系 ,构造多维映射函数曲面 ;随后对多维映射函数曲面进行搜索 ,搜索...
以提高半导体生产线的成品率为目标 ,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化 .首先使用神经网络方法建立模型 ,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系 ,构造多维映射函数曲面 ;随后对多维映射函数曲面进行搜索 ,搜索成品率最高的最优点 ,据此确定工艺参数的规范值 ;最后 ,根据优化后的工艺参数规范进行实际生产 .采用这种优化建议 ,半导体生产线的平均成品率由 51 .7%提高到了 57.5% .
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关键词
集成电路
生产过程
建模
优化
神经网络
半导体芯片
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职称材料
晶体管发射极电流集边效应物理意义之探讨
被引量:
7
2
作者
石林初
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期14-18,共5页
由基区电阻的自偏压引起的晶体管发射极电流集边效应,是限制晶体管承载电流能力的因素之一[1~4]。本文以发射极电流集边效应发生的程度,分为四个区域,详细探讨了归一化电位和电流密度分布的特点,指出:在Ⅰ~Ⅱ区,发射极电流...
由基区电阻的自偏压引起的晶体管发射极电流集边效应,是限制晶体管承载电流能力的因素之一[1~4]。本文以发射极电流集边效应发生的程度,分为四个区域,详细探讨了归一化电位和电流密度分布的特点,指出:在Ⅰ~Ⅱ区,发射极电流集边效应不明显,晶体管承载电流能力主要由发射区面积决定;在Ⅰ~Ⅲ区,发射极电流集边效应明显,晶体管承载电流能力由发射区面积和发射区有效周长共同决定;在Ⅰ~Ⅳ区发射极电流集边效应已非常突出,晶体管承载电流能力由发射区有效周长决定。
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关键词
晶体管
发射极
电流集边效应
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职称材料
数理统计方法在IC大生产中的应用──试论工序能力指数与成品率的关系
被引量:
2
3
作者
石林初
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期125-128,共4页
单道工序能力指数Cp和单道工序的成品率y是全面质量管理TQC(TotalQualityControl)的两个关键参数.本文利用余误差函数表和线性插值修正法计算了不同Cp的y值,并给出了对应表格,从而大大方便了数理统计方法在工业化大生产中的实际应用.
关键词
工序能力指数
成品率
数理统计
IC
制造
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职称材料
电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用
被引量:
2
4
作者
石林初
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期20-23,共4页
提出了一种模拟任意形状的薄层电阻的方法——电阻网络元模拟算法。将模拟值和计算值进行比较表明,该方法具有精度高和操作简单的优点,从而在IC的设计中获得广泛的应用。
关键词
薄层电阻
模拟算法
电阻网络元
IC
集成电路
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职称材料
题名
基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
被引量:
1
1
作者
王向东
陈咏梅
王守觉
石林初
机构
中国科学院半导体研究所
华晶电子集团公司双极设计所
出处
《自动化学报》
EI
CSCD
北大核心
2001年第3期289-295,共7页
文摘
以提高半导体生产线的成品率为目标 ,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化 .首先使用神经网络方法建立模型 ,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系 ,构造多维映射函数曲面 ;随后对多维映射函数曲面进行搜索 ,搜索成品率最高的最优点 ,据此确定工艺参数的规范值 ;最后 ,根据优化后的工艺参数规范进行实际生产 .采用这种优化建议 ,半导体生产线的平均成品率由 51 .7%提高到了 57.5% .
关键词
集成电路
生产过程
建模
优化
神经网络
半导体芯片
Keywords
Feedforward neural networks
Learning algorithms
Manufacture
Mathematical programming
Optimization
Production control
VLSI circuits
分类号
TP183 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
晶体管发射极电流集边效应物理意义之探讨
被引量:
7
2
作者
石林初
机构
中国华晶电子集团公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期14-18,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
由基区电阻的自偏压引起的晶体管发射极电流集边效应,是限制晶体管承载电流能力的因素之一[1~4]。本文以发射极电流集边效应发生的程度,分为四个区域,详细探讨了归一化电位和电流密度分布的特点,指出:在Ⅰ~Ⅱ区,发射极电流集边效应不明显,晶体管承载电流能力主要由发射区面积决定;在Ⅰ~Ⅲ区,发射极电流集边效应明显,晶体管承载电流能力由发射区面积和发射区有效周长共同决定;在Ⅰ~Ⅳ区发射极电流集边效应已非常突出,晶体管承载电流能力由发射区有效周长决定。
关键词
晶体管
发射极
电流集边效应
Keywords
Principle of transistor Edge crouding effect of emitter current Base resistor Effective peripheral length of emitter Effective width of emitter
分类号
TN320.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
数理统计方法在IC大生产中的应用──试论工序能力指数与成品率的关系
被引量:
2
3
作者
石林初
机构
中国华晶电子集团公司
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期125-128,共4页
文摘
单道工序能力指数Cp和单道工序的成品率y是全面质量管理TQC(TotalQualityControl)的两个关键参数.本文利用余误差函数表和线性插值修正法计算了不同Cp的y值,并给出了对应表格,从而大大方便了数理统计方法在工业化大生产中的实际应用.
关键词
工序能力指数
成品率
数理统计
IC
制造
Keywords
Processing capability index, Yield, Mathematic-statistical method
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F426.63 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用
被引量:
2
4
作者
石林初
机构
中国华晶电子集团公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期20-23,共4页
基金
国家自然科学基金
文摘
提出了一种模拟任意形状的薄层电阻的方法——电阻网络元模拟算法。将模拟值和计算值进行比较表明,该方法具有精度高和操作简单的优点,从而在IC的设计中获得广泛的应用。
关键词
薄层电阻
模拟算法
电阻网络元
IC
集成电路
Keywords
Sheet resistor Simulating algorithm Resistor net cell
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
王向东
陈咏梅
王守觉
石林初
《自动化学报》
EI
CSCD
北大核心
2001
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
晶体管发射极电流集边效应物理意义之探讨
石林初
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
数理统计方法在IC大生产中的应用──试论工序能力指数与成品率的关系
石林初
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用
石林初
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
2
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职称材料
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