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基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化 被引量:1
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作者 王向东 陈咏梅 +1 位作者 王守觉 石林初 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第3期289-295,共7页
以提高半导体生产线的成品率为目标 ,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化 .首先使用神经网络方法建立模型 ,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系 ,构造多维映射函数曲面 ;随后对多维映射函数曲面进行搜索 ,搜索... 以提高半导体生产线的成品率为目标 ,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化 .首先使用神经网络方法建立模型 ,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系 ,构造多维映射函数曲面 ;随后对多维映射函数曲面进行搜索 ,搜索成品率最高的最优点 ,据此确定工艺参数的规范值 ;最后 ,根据优化后的工艺参数规范进行实际生产 .采用这种优化建议 ,半导体生产线的平均成品率由 51 .7%提高到了 57.5% . 展开更多
关键词 集成电路 生产过程 建模 优化 神经网络 半导体芯片
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晶体管发射极电流集边效应物理意义之探讨 被引量:7
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作者 石林初 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期14-18,共5页
由基区电阻的自偏压引起的晶体管发射极电流集边效应,是限制晶体管承载电流能力的因素之一[1~4]。本文以发射极电流集边效应发生的程度,分为四个区域,详细探讨了归一化电位和电流密度分布的特点,指出:在Ⅰ~Ⅱ区,发射极电流... 由基区电阻的自偏压引起的晶体管发射极电流集边效应,是限制晶体管承载电流能力的因素之一[1~4]。本文以发射极电流集边效应发生的程度,分为四个区域,详细探讨了归一化电位和电流密度分布的特点,指出:在Ⅰ~Ⅱ区,发射极电流集边效应不明显,晶体管承载电流能力主要由发射区面积决定;在Ⅰ~Ⅲ区,发射极电流集边效应明显,晶体管承载电流能力由发射区面积和发射区有效周长共同决定;在Ⅰ~Ⅳ区发射极电流集边效应已非常突出,晶体管承载电流能力由发射区有效周长决定。 展开更多
关键词 晶体管 发射极 电流集边效应
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数理统计方法在IC大生产中的应用──试论工序能力指数与成品率的关系 被引量:2
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作者 石林初 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期125-128,共4页
单道工序能力指数Cp和单道工序的成品率y是全面质量管理TQC(TotalQualityControl)的两个关键参数.本文利用余误差函数表和线性插值修正法计算了不同Cp的y值,并给出了对应表格,从而大大方便了数理统计方法在工业化大生产中的实际应用.
关键词 工序能力指数 成品率 数理统计 IC 制造
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电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用 被引量:2
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作者 石林初 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期20-23,共4页
提出了一种模拟任意形状的薄层电阻的方法——电阻网络元模拟算法。将模拟值和计算值进行比较表明,该方法具有精度高和操作简单的优点,从而在IC的设计中获得广泛的应用。
关键词 薄层电阻 模拟算法 电阻网络元 IC 集成电路
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