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表面多孔硅层对单晶硅太阳电池性能的影响（英文）
1
作者
徐甲然
陈诺夫
+5 位作者
石岱星
陶泉丽
吕国良
杨秀钰
张航
陈吉堃
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第3期187-194,共8页
反射率对太阳电池的性能至关重要。采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池。扫描电子显微镜(SEM)显示出单晶硅表面形成了孔径均匀的多孔硅层,...
反射率对太阳电池的性能至关重要。采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池。扫描电子显微镜(SEM)显示出单晶硅表面形成了孔径均匀的多孔硅层,且孔径随着刻蚀时间的增加而增大;紫外-可见光分光光度计表明,该多孔硅层的反射率在400～1 100 nm的光谱范围达到12%;磷扩散后薄层方块电阻达到42Ω/□,证明多孔硅层促进了磷扩散。最终在850℃、40 s快速热退火扩散条件下,成功制备出了效率为12.32%、短路电流密度为27.99 mA/cm^2、开路电压为0.49 V以及填充因子达到71%的太阳电池。
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关键词
太阳电池
多孔硅
反射率
快速热处理
磷扩散
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职称材料
题名
表面多孔硅层对单晶硅太阳电池性能的影响（英文）
1
作者
徐甲然
陈诺夫
石岱星
陶泉丽
吕国良
杨秀钰
张航
陈吉堃
机构
华北电力大学可再生能源学院
北京科技大学材料学院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第3期187-194,共8页
基金
National Natural Science Foundation(61674013,51602022)
Beijing Natural Science Foundation(2151004)
Fundamental Research Funds for the Central Universities(2018QN054)
文摘
反射率对太阳电池的性能至关重要。采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池。扫描电子显微镜(SEM)显示出单晶硅表面形成了孔径均匀的多孔硅层,且孔径随着刻蚀时间的增加而增大;紫外-可见光分光光度计表明,该多孔硅层的反射率在400～1 100 nm的光谱范围达到12%;磷扩散后薄层方块电阻达到42Ω/□,证明多孔硅层促进了磷扩散。最终在850℃、40 s快速热退火扩散条件下,成功制备出了效率为12.32%、短路电流密度为27.99 mA/cm^2、开路电压为0.49 V以及填充因子达到71%的太阳电池。
关键词
太阳电池
多孔硅
反射率
快速热处理
磷扩散
Keywords
solar cell
porous silicon
reflectivity
rapid thermal process
phosphorus diffusion
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面多孔硅层对单晶硅太阳电池性能的影响（英文）
徐甲然
陈诺夫
石岱星
陶泉丽
吕国良
杨秀钰
张航
陈吉堃
《微纳电子技术》
北大核心
2019
0
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