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电渗泵的研究进展 被引量:2
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作者 白竹川 高杨 +1 位作者 刘婷婷 陈营端 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第4期236-243,共8页
概述了电渗泵驱动的基本原理。根据电渗泵微通道的结构特征,将其分为多孔介质电渗泵和开放通道电渗泵两类,并阐述了两类电渗泵的研究进展和各种结构电渗泵性能的优缺点,分析了驱动电压、温度、通道结构尺寸和电解液特性等关键因素对电... 概述了电渗泵驱动的基本原理。根据电渗泵微通道的结构特征,将其分为多孔介质电渗泵和开放通道电渗泵两类,并阐述了两类电渗泵的研究进展和各种结构电渗泵性能的优缺点,分析了驱动电压、温度、通道结构尺寸和电解液特性等关键因素对电渗泵电渗流性能的影响。概括了目前电渗泵研制中存在的主要问题:高压高流量的电渗泵所需驱动电压很高;电渗泵工作过程中产生大量焦耳热,导致热力效率低于6%;各种电渗泵的结构、微加工工艺与电渗流性能匹配不好。这些问题阻碍了电渗泵的实用化,是未来研究工作的重点。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微流体 电渗泵 多孔介质 开放通道
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低驱动电压电容式RF MEMS开关结构设计优化 被引量:7
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作者 高杨 刘佳 +2 位作者 白竹川 刘婷婷 陈营端 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第3期160-165,共6页
RFMEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件。针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RFMEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化... RFMEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件。针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RFMEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化设计了三种具有不同的连接梁和支撑梁结构形式的开关微桥柔顺结构。第一种结构为驱动电极板和电容上极板之间以双直梁连接;第二种结构以一组弹性折叠梁代替结构一中的双直梁;第三种结构是在结构二的基础上,改变了起支撑作用的弹性折叠梁的方向。使用MEMS CAD软件CoventorWare对开关结构进行了机电耦合仿真,仿真结果表明开关的驱动电压小于3V。 展开更多
关键词 微电子机械系统 射频微电子机械系统 开关 机电耦合Ware软件
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U盘唯一性标识信息的构建与识别方法 被引量:5
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作者 李俊艳 高杨 +3 位作者 刘婷婷 陈营端 白竹川 贺光维 《电子技术应用》 北大核心 2009年第3期130-134,137,共6页
根据涉密存储介质保密管理的要求,以U盘为例,提出一种新颖的、以USB协议和大容量存储类协议为基础的移动存储介质管理架构。存储介质的唯一性标识由VID、PID和硬件序列号组成。同时还提出了基于CY7C67300嵌入式主机控制器的USB总线介质... 根据涉密存储介质保密管理的要求,以U盘为例,提出一种新颖的、以USB协议和大容量存储类协议为基础的移动存储介质管理架构。存储介质的唯一性标识由VID、PID和硬件序列号组成。同时还提出了基于CY7C67300嵌入式主机控制器的USB总线介质管理方案。通过USB总线枚举方式,逐一识别介质唯一性标识并通过超级终端显示。测试结果证明,该标识和识别方法可以用于移动存储介质安全管理系统,从而使涉密移动存储介质处于实时监控状态下,大大减少了泄密风险。 展开更多
关键词 信息安全 移动存储介质 唯一性标识 嵌入式USB主机控制器 USB总线枚举
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声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真 被引量:3
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作者 陈营端 高杨 +1 位作者 白竹川 刘婷婷 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第12期739-743,749,共6页
为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30... 为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30~40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1~2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SAW传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件SAW传播速度的2~3倍。 展开更多
关键词 RF MEMS SAW谐振器 叉指换能器(IDT) ANSYS软件 建模与仿真
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高压开关柜的三维电磁场数值仿真 被引量:18
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作者 高杨 周岩 +2 位作者 刘婷婷 陈营端 白竹川 《信息与电子工程》 2009年第6期540-544,共5页
导电触点过热是高压开关柜主要的失效模式,迫切需要低成本的实时、原位、在线触点温度监测装置作为早期失效预警系统,以确保此类高压大电流电气设备的可靠运行。设计触点温度监测装置,必须首先明确高压开关柜内的电磁场环境。以KYN28-12... 导电触点过热是高压开关柜主要的失效模式,迫切需要低成本的实时、原位、在线触点温度监测装置作为早期失效预警系统,以确保此类高压大电流电气设备的可靠运行。设计触点温度监测装置,必须首先明确高压开关柜内的电磁场环境。以KYN28-12(Z)型高压开关柜为例,应用多物理场耦合仿真软件COMSOL Multiphysics的AC/DC模块,建立高压开关柜的三维电磁场数值仿真模型,采用准静态电磁场求解方法,计算得到了相线加载电压为12kV@50Hz的标准工况下开关柜内电磁场强度的分布:矩形铜制相线角部的电场和磁场强度最大,相线间的电场和磁场强度稍小。 展开更多
关键词 高压开关柜 在线温度监测 三维电磁场 数值仿真
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微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响
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作者 高杨 白竹川 +1 位作者 刘婷婷 袁明权 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期684-688,共5页
开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件。开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系。首先理论分析了微通... 开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件。开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系。首先理论分析了微通道的长度、宽度和高度对开通道电渗流性能的影响,得出了各参数对电渗流性能的影响趋势。应用MEMS CAD软件Coventorware对微通道尺寸的影响进行了数值仿真分析,结果表明:数值仿真得出的结论与理论分析相一致,高深宽比微通道的电渗泵,减小宽度W和深度H有助于提高开通道电渗泵的压力,但流量也随之减小,设计时宽度和深度需折衷取值;长度L只对流量有影响,对压力无影响,通过优化设计微通道的几何尺寸可以使开通道电渗泵的压力和流量性能得以提高。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微流体 电渗泵 微通道 开通道
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