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单晶SiC超精密加工研究进展: 1; 作者田壮智班新星 +3 位作者韩少星段天旭郑少冬朱建辉《微纳电子技术》 CAS 2024年第1期35-49,共15页; 单晶碳化硅(SiC)的高脆性、高硬性和强化学惰性是制约第三代半导体超精密抛光发展的关键,实现衬底高效率、超光滑表面的加工具有挑战性。对于单晶SiC的化学机械抛光(CMP),分别从材料去除和工艺优化两个维度出发,阐述了CMP SiC的影响因... 展开更多; 关键词单晶碳化硅(SiC) 化学机械抛光(CMP) 材料去除率(MRR) 表面粗糙度增效抛光; 在线阅读下载PDF 职称材料

针阀体密封端面漏油原因分析及密封微凹结构优化设计被引量：1: 2; 作者赵强马丹 +6 位作者曹宇轩赵家宁刘孟奇白金峰曹明琛班新星赵惠英《内燃机与配件》 2019年第17期28-30,共3页; 针对某型号针阀偶件在试验验证中容易产生暴漏的问题,首先分析了暴漏产生的原因,其次建立针阀体密封端面不同微凹结构的三维模型,并使用ANSYS进行静力学仿真分析,根据仿真分析结果对微凹结构进行了优化设计并进行了仿真分析验证。仿真... 展开更多; 关键词针阀体环状微凹结构仿真分析优化设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于有限元分析的精密铣削装备整机设计优化: 3; 作者白金峰赵家宁 +5 位作者刘孟奇赵强曹明琛赵凌宇班新星赵惠英《内燃机与配件》 2019年第17期1-3,共3页; 在面向高档汽车压缩机涡旋盘零件的加工需求背景下,对其加工装备做了基础设计,并根据课题组基础设定了装备部件的材料。对装备的各运动部件进行了精度分配,得到了课题5μm加工要求需要设计3μm的装备模型,由此设计了装备模型。在装备模... 展开更多; 关键词精度分配基础设计优化设计仿真分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于有限元分析的精密铣削装备床身设计优化: 4; 作者白金峰刘孟奇 +5 位作者赵家宁曹明琛赵强赵凌宇班新星赵惠英《内燃机与配件》 2019年第17期16-18,共3页; 在面向高档汽车压缩机涡旋盘零件的加工需求背景下,对其加工装备做了基础设计,并根据课题组基础设定了装备部件的材料。对装备的相关外部影响因素进行了精度分析,得到了课题5μm加工要求需要设计3μm的装备模型,由此设计了装备床身模型... 展开更多; 关键词精度分配基础设计优化设计仿真分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于ANSYS的针阀体密封微结构设计: 5; 作者赵强马丹 +5 位作者曹宇轩刘孟奇赵家宁曹明琛班新星赵惠英《内燃机与配件》 2019年第17期35-37,共3页; 针对某型号针阀偶件在工况下,高压油易从针阀体和针阀套间的接触端面泄露的问题,利用Solidworks三维软件建立针阀体密封端面不同微结构的三维模型,并使用ANSYS仿真分析软件对针阀体上的微结构进行静力学仿真分析,根据仿真分析结果对比... 展开更多; 关键词针阀体密封微结构仿真分析优化设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单晶SiC超精密加工研究进展: 1; 作者田壮智班新星韩少星段天旭郑少冬朱建辉; 机构河南工业大学机电工程学院河南省超硬磨料磨削装备重点实验室郑州磨料磨具磨削研究所有限公司; 出处《微纳电子技术》 CAS 2024年第1期35-49,共15页; 基金中国博士后科学基金(2022M712923) 河南省科技攻关计划资助项目(232102221037) +3 种基金郑州市重大科技专项(2021KJZX0062)。; 文摘单晶碳化硅(SiC)的高脆性、高硬性和强化学惰性是制约第三代半导体超精密抛光发展的关键,实现衬底高效率、超光滑表面的加工具有挑战性。对于单晶SiC的化学机械抛光(CMP),分别从材料去除和工艺优化两个维度出发,阐述了CMP SiC的影响因素和规律,指出了该方法的不足。介绍了光催化、超声振动、电场、等离子体、磁流变、表面预处理等辅助CMP抛光方法,分析了复合增效抛光的去除机理和优势。通过对比发现,辅助能场的介入有助于改善SiC表面质量,并能获得较好的加工效果,然而,复合抛光技术涉及的能场复杂,多能场作用下的材料去除机制和工艺参数匹配仍需进行深入研究。最后,对未来单晶SiC超精密加工的研究给出了建议,并进行了展望。; 关键词单晶碳化硅(SiC) 化学机械抛光(CMP) 材料去除率(MRR) 表面粗糙度增效抛光; Keywords single crystal silicon carbide(SiC) chemical mechanical polishing(CMP) material removal rate(MRR) surface roughness enhanced polishing; 分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名针阀体密封端面漏油原因分析及密封微凹结构优化设计被引量：1: 2; 作者赵强马丹曹宇轩赵家宁刘孟奇白金峰曹明琛班新星赵惠英; 机构北京微纳精密机械有限公司西安交通大学机械工程学院山西柴油机工业有限责任公司; 出处《内燃机与配件》 2019年第17期28-30,共3页; 基金国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF) 国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202); 文摘针对某型号针阀偶件在试验验证中容易产生暴漏的问题,首先分析了暴漏产生的原因,其次建立针阀体密封端面不同微凹结构的三维模型,并使用ANSYS进行静力学仿真分析,根据仿真分析结果对微凹结构进行了优化设计并进行了仿真分析验证。仿真结果表明:不同数量、宽度以及深度的环状微凹结构对接触状态有很大的影响;且当密封微结构为宽0.5mm,深2μm的环状凹槽时,其接触面积可以较初始平面接触面积增大2.37%,这使针阀体与针阀套之间的密封问题得到改善。; 关键词针阀体环状微凹结构仿真分析优化设计; 分类号 TH136 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于有限元分析的精密铣削装备整机设计优化: 3; 作者白金峰赵家宁刘孟奇赵强曹明琛赵凌宇班新星赵惠英; 机构北京微纳精密机械有限公司西安交通大学机械工程学院; 出处《内燃机与配件》 2019年第17期1-3,共3页; 基金国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202) 国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF); 文摘在面向高档汽车压缩机涡旋盘零件的加工需求背景下,对其加工装备做了基础设计,并根据课题组基础设定了装备部件的材料。对装备的各运动部件进行了精度分配,得到了课题5μm加工要求需要设计3μm的装备模型,由此设计了装备模型。在装备模型中间加工状态和两端加工状态两种极限状态下分别做了静力学仿真分析,对比了基础设计模型和优化设计模型。在中间加工状态下,基础设计模型加工点位置处和传动部件位置处的变形由0.298μm和0.20μm分别优化到优化设计模型的0.172μm和0.155μm;在两端加工状态下,基础设计模型加工点位置处和传动部件位置处的变形由0.301μm和0.197μm分别优化到优化设计模型的0.197μm和0.201μm。; 关键词精度分配基础设计优化设计仿真分析; 分类号 U468.21 [机械工程—车辆工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于有限元分析的精密铣削装备床身设计优化: 4; 作者白金峰刘孟奇赵家宁曹明琛赵强赵凌宇班新星赵惠英; 机构北京微纳精密机械有限公司西安交通大学机械工程学院; 出处《内燃机与配件》 2019年第17期16-18,共3页; 基金国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202) 国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF); 文摘在面向高档汽车压缩机涡旋盘零件的加工需求背景下,对其加工装备做了基础设计,并根据课题组基础设定了装备部件的材料。对装备的相关外部影响因素进行了精度分析,得到了课题5μm加工要求需要设计3μm的装备模型,由此设计了装备床身模型。在床身模型中基础设计和优化加筋两种方案下分别做了静力学仿真分析,对比了基础设计模型和优化设计模型。床身基础方案的总变形为0.41μm,斜筋方案为0.27μm,圆筋方案为0.32μm,并分析了在X、Y、Z三个方向的变形。; 关键词精度分配基础设计优化设计仿真分析; 分类号 U468.21 [机械工程—车辆工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于ANSYS的针阀体密封微结构设计: 5; 作者赵强马丹曹宇轩刘孟奇赵家宁曹明琛班新星赵惠英; 机构北京微纳精密机械有限公司西安交通大学机械工程学院山西柴油机工业有限责任公司; 出处《内燃机与配件》 2019年第17期35-37,共3页; 基金国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF) 国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202); 文摘针对某型号针阀偶件在工况下,高压油易从针阀体和针阀套间的接触端面泄露的问题,利用Solidworks三维软件建立针阀体密封端面不同微结构的三维模型,并使用ANSYS仿真分析软件对针阀体上的微结构进行静力学仿真分析,根据仿真分析结果对比选出最优微结构。仿真结果表明:针阀体密封微结构可以起到增大密封端面接触面积的作用;且密封微结构的最优设计为抛物线凹状环槽,可使针阀体与针阀套之间的密封问题得到改善。; 关键词针阀体密封微结构仿真分析优化设计; 分类号 TH136 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	单晶SiC超精密加工研究进展	田壮智班新星韩少星段天旭郑少冬朱建辉	《微纳电子技术》 CAS	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	针阀体密封端面漏油原因分析及密封微凹结构优化设计	赵强马丹曹宇轩赵家宁刘孟奇白金峰曹明琛班新星赵惠英	《内燃机与配件》	2019	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于有限元分析的精密铣削装备整机设计优化	白金峰赵家宁刘孟奇赵强曹明琛赵凌宇班新星赵惠英	《内燃机与配件》	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于有限元分析的精密铣削装备床身设计优化	白金峰刘孟奇赵家宁曹明琛赵强赵凌宇班新星赵惠英	《内燃机与配件》	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于ANSYS的针阀体密封微结构设计	赵强马丹曹宇轩刘孟奇赵家宁曹明琛班新星赵惠英	《内燃机与配件》	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料