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用于线宽测量的双探针原子力显微镜 被引量:1
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作者 王鹤群 李伟 +3 位作者 李琪 施玉书 李适 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期18-24,共7页
双探针原子力显微镜可以有效地消除传统原子力显微镜的探针形状对线宽测量的影响,实现线宽的真三维测量。双探针原子力显微镜测量装置由测头系统、双探针扫描系统、视觉对准系统、位移测量系统构成。测头系统中采用了自感应式音叉探针... 双探针原子力显微镜可以有效地消除传统原子力显微镜的探针形状对线宽测量的影响,实现线宽的真三维测量。双探针原子力显微镜测量装置由测头系统、双探针扫描系统、视觉对准系统、位移测量系统构成。测头系统中采用了自感应式音叉探针简化结构。双探针测量方法共分为2步:第1步,通过2探针的接触对准确定测量坐标零点;第2步,2探针分别扫描待测线宽两侧壁,根据已确定的坐标零点拼合2次扫描所得的位移数据,从而计算可得线宽值。接触对准中,利用了图像边缘提取定位和针尖反馈扫描对准相结合的探针对准方法,提高了对针精度。 展开更多
关键词 计量学 双探针 原子力显微镜 线宽测量
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浅论我国高职院校数字图书馆建设存在的问题及对策 被引量:2
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作者 王鹤群 《教育界(高等教育)》 2011年第8期169-169,共1页
本文对高职院校数字图书馆建设存在的问题进行了初步探讨,并对如何更好地开展高职院校数字图书馆建设,从宏观策略、资源建设和人力资源三个方面提出了建议。
关键词 高职院校 数字图书馆 建设 问题 对策
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248nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究 被引量:4
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作者 李琪 李伟 +4 位作者 施玉书 高思田 李适 王鹤群 尹传祥 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第1期6-9,共4页
248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400nm一维栅格标准物质,通过对... 248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400nm一维栅格标准物质,通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估,得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0.178nm,并给出了实际测量时的不确定度评价公式。 展开更多
关键词 计量学 248 nm 紫外显微镜 线宽校准 栅格标准物质
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双探针原子力显微镜针尖对准方法研究
4
作者 张华坤 高思田 +2 位作者 李伟 施玉书 王鹤群 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第1期1-5,共5页
双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响。测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法。首先,通过视觉图像... 双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响。测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法。首先,通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内。然后,两个探针继续接近,同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像,并逐步缩小扫描范围和扫描步进,得到其针尖的纳米级坐标(YB,ZB)。最后,将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB,在X方向继续接近探针B直至两探针接触。实验证明,该方法可有效地实现双探针对准,且对准精度为10nm。 展开更多
关键词 计量学 双探针 原子力显微镜 对准方法 关键尺寸
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基于石英音叉探针的原子力显微镜测头开发 被引量:4
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作者 刘雷华 郭彤 +2 位作者 李伟 王鹤群 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第3期225-229,共5页
基于石英音叉探针开发了一种自感应原子力显微镜(AFM)测头。该测头通过自身输出电信号检测悬臂振幅变化,无需外部光学检测部件,易于集成。针对测头设计了微弱电流提取及寄生电容补偿电路。利用商业化锁相放大器实现了对测头幅度信... 基于石英音叉探针开发了一种自感应原子力显微镜(AFM)测头。该测头通过自身输出电信号检测悬臂振幅变化,无需外部光学检测部件,易于集成。针对测头设计了微弱电流提取及寄生电容补偿电路。利用商业化锁相放大器实现了对测头幅度信号的获取。在此基础上对测头在调幅模式下的力.距离曲线和分辨力进行了测试。利用锁相放大器内置的PID模块实现了调幅模式下对样品表面形貌的测量。实验证明,该测头灵敏度为0.624mV/nm,分辨力优于2nm。 展开更多
关键词 计量学 石英音叉探针 原子力显微镜 锁相放大器 力一距离曲线 PID控制
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中承式系杆拱桥结构设计 被引量:1
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作者 孙书亭 王鹤群 刘斌 《城市道桥与防洪》 2014年第7期149-152,共4页
西扎达盖河桥梁采用跨径56 m的中承式拱桥,桥面宽40.4 m,两拱肋间距26.4 m,采用了钢拱肋、钢-混结合梁桥面系。这种结构具有比混凝土结构更大的承载能力,而且自重轻。运用有限元分析软件对结构进行了静力分析、动力特性分析及地震响应分... 西扎达盖河桥梁采用跨径56 m的中承式拱桥,桥面宽40.4 m,两拱肋间距26.4 m,采用了钢拱肋、钢-混结合梁桥面系。这种结构具有比混凝土结构更大的承载能力,而且自重轻。运用有限元分析软件对结构进行了静力分析、动力特性分析及地震响应分析,分析表明桥梁满足使用阶段的要求。 展开更多
关键词 中承式系杆拱桥 结构设计 拱肋 应力 钢-混结合梁 稳定性
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哲学与美学视域下的中国传统文化传承浅析 被引量:2
7
作者 王鹤群 《兰州交通大学学报》 CAS 2023年第6期167-170,共4页
中国传统文化作为中华民族的瑰宝,具有丰富的哲学思想和美学观念,对于人类社会的发展和进步具有重要意义。本研究通过文献分析与理论比较的方法,总结了中国传统文化中哲学和美学的关系,揭示了其对于人类审美意识和审美实践的重要影响。... 中国传统文化作为中华民族的瑰宝,具有丰富的哲学思想和美学观念,对于人类社会的发展和进步具有重要意义。本研究通过文献分析与理论比较的方法,总结了中国传统文化中哲学和美学的关系,揭示了其对于人类审美意识和审美实践的重要影响。研究发现,中国传统文化以其独特的哲学智慧和审美理念,为现代社会的美学教育提供了丰富的资源和启示,对于加强中国传统文化的传承,促进文化的多元融合与创新发展具有重要意义。 展开更多
关键词 中国传统文化 哲学视域 美学视域 内涵 价值挖掘
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Improved partial response maximum likelihood method combining modulation code for signal waveform modulation multi-level disc
8
作者 王鹤群 裴京 潘龙法 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期213-219,共7页
In this paper, we describe an improved adaptive partial response maximum likelihood (PRML) method combining modulation code tbr signal waveform modulation multi-level disc. This improved adaptive PRML method employs... In this paper, we describe an improved adaptive partial response maximum likelihood (PRML) method combining modulation code tbr signal waveform modulation multi-level disc. This improved adaptive PRML method employs partial response equalizer and adaptive viterbi detector combining modulation code. Compared with the traditional adaptive PRML detector, the improved PRML detector additionally employs illogical sequence detector and corrector. Illogical sequence detector and corrector can aw)id the appearance of illogical sequences effectively, which do not follow the law of modulation code for signal waveform modulation multi-level disc, and obtain the correct sequences. We implement the improved PRML detector using a DSP and an FPGA chip. The experimental results show good performance. The higher efficient and lower complexity can be obtained by using the improved PRML method than by using the previous PRML method. Meanwhile, resource utilization of the improved PRML detector is not changed, but the bit error rate (BER) is reduced by more than 20%. 展开更多
关键词 multi-level disc signal waveform modulation viterbi detector partial response maximum likeli-hood
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Read channel for signal waveform modulation multi-level disc
9
作者 王鹤群 徐海峥 +1 位作者 潘龙法 刘海龙 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第12期334-338,共5页
A novel read channel for signal waveform modulation multi-level disc is presented in this paper. This read channel employs timing recovery system and partial response maximum likelihood detector. Compared to the previ... A novel read channel for signal waveform modulation multi-level disc is presented in this paper. This read channel employs timing recovery system and partial response maximum likelihood detector. Compared to the previous read channel composed of level detection and run-length detection, the present read channel shows superiority in capacity increase and robust performance. Especially, relying on the partial response maximum likelihood detection, lower bit error rate can be obtained. 展开更多
关键词 multi-level disc signal waveform modulation read channel partial response maximum likelihood
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葫芦岛虹螺山国家级自然保护区唇形科植物种调查
10
作者 王鹤群 《防护林科技》 2019年第10期26-28,共3页
为了摸清葫芦岛虹螺山国家级自然保护区内唇形科植物的基本情况并使其得到合理地开发利用,采用野外踏查方法,通过标本采集、生态照拍摄和详细观察记录对该区唇形科植物进行调查。结果表明:该区唇形科植物种类丰富,共有12属21种(含1变种)... 为了摸清葫芦岛虹螺山国家级自然保护区内唇形科植物的基本情况并使其得到合理地开发利用,采用野外踏查方法,通过标本采集、生态照拍摄和详细观察记录对该区唇形科植物进行调查。结果表明:该区唇形科植物种类丰富,共有12属21种(含1变种),分别占全国唇形科植物总属数的12.50%、总种数的2.50%。其中,单种属有7个,2~4个种的属有5个,优势属明显,单种属所占比例最大,为总属数的58.33%。葫芦岛虹螺山地区唇形科植物用途多样,香料植物类有5种,药用植物类有21种,食用植物类有8种,蜜源植物类有7种,观赏植物类有7种,油脂植物类有6种。 展开更多
关键词 虹螺山国家级自然保护区 唇形科植物 种类 用途
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宽甸县防护林现状及保护对策
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作者 王鹤群 《防护林科技》 2018年第5期48-49,共2页
宽甸县是辽宁省重点林区,防护林在生态系统中发挥重要作用。由于森林病虫害和人为因素,导致防护林呈退化趋势。本文通过落实森林资源保护责任制,实施生态保护红线,打击破坏森林资源违法行为,修复退化防护林,适时搞好幼龄林抚育等措施,... 宽甸县是辽宁省重点林区,防护林在生态系统中发挥重要作用。由于森林病虫害和人为因素,导致防护林呈退化趋势。本文通过落实森林资源保护责任制,实施生态保护红线,打击破坏森林资源违法行为,修复退化防护林,适时搞好幼龄林抚育等措施,达到提高防护林效能的目的。 展开更多
关键词 防护林 保护 对策
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