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纳米晶钛薄膜的制备及结构分析 被引量:4
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作者 赵越 刘实 +3 位作者 汪伟 郝万立 王隆保 李依依 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期380-383,424,共5页
采用磁控溅射和离子镀膜工艺在Mo基片上制备了具有不同晶粒尺寸的纯Ti薄膜 ,并利用X光衍射 (XRD)、透射电镜 (TEM )和扫描电镜 (SEM )分析和观察了两类Ti膜的结构和形貌。实验结果显示 :与溅射镀膜相比 ,离子镀膜的晶粒择优取向程度略低... 采用磁控溅射和离子镀膜工艺在Mo基片上制备了具有不同晶粒尺寸的纯Ti薄膜 ,并利用X光衍射 (XRD)、透射电镜 (TEM )和扫描电镜 (SEM )分析和观察了两类Ti膜的结构和形貌。实验结果显示 :与溅射镀膜相比 ,离子镀膜的晶粒择优取向程度略低 ,Ti膜与基片结合较好 ;较高的基片温度有利于提高膜的致密程度 ,并降低膜的晶粒择优取向程序。 展开更多
关键词 纳米晶 钛薄膜 制备 结构分析 直流磁控溅射 空心阴极离子镀
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纯Ti吸放氢过程研究 被引量:5
2
作者 张滨 郑华 +1 位作者 刘实 王隆保 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期522-525,共4页
对纯Ti在500和580℃下的吸氢速率常数进行了测定。500℃时,纯Ti吸氢速率随循环测试次数增多而变小,且吸氢动力学曲线出现拐点,吸氢时发生α→β和β→δ2次相变。580℃下的吸氢速率较500℃下的明显变快,吸氢动力学曲线为直线,吸氢时未... 对纯Ti在500和580℃下的吸氢速率常数进行了测定。500℃时,纯Ti吸氢速率随循环测试次数增多而变小,且吸氢动力学曲线出现拐点,吸氢时发生α→β和β→δ2次相变。580℃下的吸氢速率较500℃下的明显变快,吸氢动力学曲线为直线,吸氢时未发生β→δ相变。研究了表面及晶粒度对磁控溅射和球磨制备的TiH2放氢过程的影响。结果表明,在相同升温速率下,由磁控溅射和球磨制备的纳米晶氢化物的放氢曲线与块体材料的放氢曲线存在显著差异。此现象与样品中的缺陷结构有关。 展开更多
关键词 TI 吸氢 放氢
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^3He的产生对钛氚化物性能的影响 被引量:4
3
作者 李雄伟 郑华 +1 位作者 王隆保 刘实 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期526-529,共4页
文章基于第一原理对T衰变成3He后钛氚化物体系的电子结构及弹性模量进行计算。计算结果表明:TiT2中衰变产生的3He将占据体积较小的四面体间隙,并非占据体积较大的八面体间隙;3He的产生加强了最近邻的T原子与Ti原子的成键作用,Ti—T总的... 文章基于第一原理对T衰变成3He后钛氚化物体系的电子结构及弹性模量进行计算。计算结果表明:TiT2中衰变产生的3He将占据体积较小的四面体间隙,并非占据体积较大的八面体间隙;3He的产生加强了最近邻的T原子与Ti原子的成键作用,Ti—T总的平均成键作用增强,这是氚化物时效后平衡压降低的原因;3He产生后,体系Ti—T键的大量损耗是体系体模量急剧下降的原因。 展开更多
关键词 钛氚化物 第一原理 平衡压 体模量
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合金化对TiH_2体模量作用的第一原理研究 被引量:2
4
作者 杨锐 王元明 +2 位作者 赵越 刘实 王隆保 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期416-419,共4页
通过对原子团簇模型进行第一原理计算 ,研究了过渡合金元素对TiH2 体模量的作用。结果显示 :随着同一周期各合金元素原子序数的增加 ,合金化TiH2 体系的体模量先增加后减小。ⅤB ⅧB族合金元素对TiH2 的体模量有明显的保持和改善作用 ,4... 通过对原子团簇模型进行第一原理计算 ,研究了过渡合金元素对TiH2 体模量的作用。结果显示 :随着同一周期各合金元素原子序数的增加 ,合金化TiH2 体系的体模量先增加后减小。ⅤB ⅧB族合金元素对TiH2 的体模量有明显的保持和改善作用 ,4d元素的这种改善作用强于相应的同族 3d元素。合金化TiH2 的体模量与体系内合金元素同Ti的键合作用随合金元素的改变有一致的变化趋势 。 展开更多
关键词 合金化 TiH2 第一原理 体模量 钛氢原子团簇 化学键 储氢性能
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磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究 被引量:2
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作者 郑华 刘实 +4 位作者 于洪波 朱跃进 王隆保 施力群 刘超卓 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B07期88-93,103,共7页
采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦金属比)高达0.19的氦。引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2~5nm的高压He泡内。热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温... 采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦金属比)高达0.19的氦。引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2~5nm的高压He泡内。热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温度与氚化钛中衰变产生的3He的解吸峰温度基本一致。与纯钛相比,合金膜中氦的热解吸谱宽化明显,表明He在合金膜内的捕获形式更为复杂。 展开更多
关键词 磁控溅射 Ti膜 热解吸
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边磨边浮新工艺试验研究 被引量:2
6
作者 孟宇群 吴敏杰 +1 位作者 宿少玲 王隆保 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期28-30,37,共4页
提出了边磨边浮创新思想 ,提供了一种在磨矿过程中对矿石进行浮选的新工艺。这一新工艺是在具有边磨边浮功能的塔式磨矿浮选机内实现的。介绍了边磨边浮工艺的工作原理 ,给出了两种金矿石的实验室边磨边浮连续试验结果 ,并与传统浮选工... 提出了边磨边浮创新思想 ,提供了一种在磨矿过程中对矿石进行浮选的新工艺。这一新工艺是在具有边磨边浮功能的塔式磨矿浮选机内实现的。介绍了边磨边浮工艺的工作原理 ,给出了两种金矿石的实验室边磨边浮连续试验结果 ,并与传统浮选工艺的试验结果进行了对比。 展开更多
关键词 试验研究 浮选 边磨边浮工艺 塔式磨矿浮选机 金矿石
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Ti_(87.5)Hf_(12.5)合金的贮氢性能 被引量:1
7
作者 郑华 于洪波 +1 位作者 刘实 王隆保 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期367-371,共5页
测定了Ti87.5Hf12.5合金的吸氢体膨胀率和氢化物热稳定性,并与Ti及TiZr、TiV和TiNb等α相合金的相应特性进行了对比。TiHf合金具有最小的吸氢体膨胀率和最高的氢化物共析转变温度。Hf的添加显著长大了TiH2的晶格常数。测试了TiHf合金的... 测定了Ti87.5Hf12.5合金的吸氢体膨胀率和氢化物热稳定性,并与Ti及TiZr、TiV和TiNb等α相合金的相应特性进行了对比。TiHf合金具有最小的吸氢体膨胀率和最高的氢化物共析转变温度。Hf的添加显著长大了TiH2的晶格常数。测试了TiHf合金的吸放氢动力学特性和吸氢PCT曲线,Hf的添加未显著改变Ti的吸氢热力学特性,外推室温吸氢平衡压与Ti的相当。 展开更多
关键词 TiHf合金 热分析 体膨胀 吸氢热力学
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含氦Ti膜的透射电镜研究 被引量:1
8
作者 于洪波 刘实 +2 位作者 胡魁义 王隆保 戎利建 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期530-534,共5页
在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜。应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,并研究退火温度对氦泡聚集和长大行为的影响。研究观测到,Ti膜中氦泡的尺寸随氦流量的增加而增大,氦泡... 在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜。应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,并研究退火温度对氦泡聚集和长大行为的影响。研究观测到,Ti膜中氦泡的尺寸随氦流量的增加而增大,氦泡的密度随氦流量改变出现一最大值;温度低于0.5 Tm时,He泡以泡迁移和合并机制(MC)长大;温度高于0.5 Tm时,He从小泡离解,被大泡吸收,以OR机制长大,氦泡尺寸明显增加。 展开更多
关键词 磁控溅射 氦泡 Ti膜
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直流磁控溅射钛及钛合金薄膜的性能研究 被引量:6
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作者 张文峰 刘实 +1 位作者 王隆保 戎利建 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期933-937,共5页
用直流磁控溅射的方法在Si及Mo基片上制取Ti及其Ti合金薄膜。研究了基片温度等镀膜工艺参数对薄膜性能的影响,并用XPS、XRD、SEM分析薄膜的化学组成和结构特征,对薄膜的生长模式进行分析。结果表明,合金的加入降低了晶粒尺寸;升高温度... 用直流磁控溅射的方法在Si及Mo基片上制取Ti及其Ti合金薄膜。研究了基片温度等镀膜工艺参数对薄膜性能的影响,并用XPS、XRD、SEM分析薄膜的化学组成和结构特征,对薄膜的生长模式进行分析。结果表明,合金的加入降低了晶粒尺寸;升高温度可增大薄膜晶粒尺寸,改善薄膜结合能力;合金膜的成分与靶材基本一致。 展开更多
关键词 薄膜制备 磁控溅射
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Ti及Ti合金中氦泡形貌的透射电镜研究 被引量:4
10
作者 刘本良 刘实 王隆保 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期799-803,共5页
利用磁控溅射方法在Ti、TiZr和TiMo合金膜中引入氦并进行热处理后,用透射电镜观察膜材中的氦泡。所观察到的氦泡可为多面体形或球体形,或多数为球形化的多面体形。在800℃热处理后的Ti和TiZr合金中均观察到规则的六边形和八边形氦泡... 利用磁控溅射方法在Ti、TiZr和TiMo合金膜中引入氦并进行热处理后,用透射电镜观察膜材中的氦泡。所观察到的氦泡可为多面体形或球体形,或多数为球形化的多面体形。在800℃热处理后的Ti和TiZr合金中均观察到规则的六边形和八边形氦泡,对应基体材料单晶平衡外形多面体的投影。720℃热处理40rain后,TiZr合金膜中的氦泡比同样温度热处理130min后的接近球形。在600~650℃热处理30~60min后.合金中的氦泡比纯Ti中的氦泡更接近球形,生长受到的阻碍更大。除热处理温度、时间和合金成分外,晶界和其他氦泡也会影响氦泡形貌。在三叉晶界处的氦泡比晶界处的氦泡圆滑。氦泡在与其他氦泡邻近的部分会变得圆滑,促使自身向对方运动,促进氦泡的合并、长大。 展开更多
关键词 氦泡 磁控溅射 TI TiZr合金 TiMo合金 晶界 球形化多面体
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