期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
在喷动流化床中用SiHCl_3制聚颗粒硅的动力学研究
被引量：
4
1
作者
王樟茂
吴兴松
+1 位作者
赵炳辉
阙端麟
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000年第3期233-238,共6页
在一直径为 ８０ ｍｍ的喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验．研究了 颗粒硅的生长速率与颗粒硅的初始粒径和三氯氢硅分压的关系，建立了颗粒硅的生长速率模型，并用实 验数据进行关联，得到如下的半经验、半理论...
在一直径为 ８０ ｍｍ的喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验．研究了 颗粒硅的生长速率与颗粒硅的初始粒径和三氯氢硅分压的关系，建立了颗粒硅的生长速率模型，并用实 验数据进行关联，得到如下的半经验、半理论模型，该模型能较好地与实验数据相吻合，实验结果证明了 用流态化技术进行颗粒硅生产的可行性．与西门子工艺相比，流化床工艺可以提高原料气的转化率，降 低能耗和氢配比．因而多晶硅的流态化技术研究有着很好的发展前景。
展开更多
关键词
三氯氢硅
氢还原反应
喷动流化床
颗粒硅
多晶硅
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
在喷动流化床中用SiHCl_3制聚颗粒硅的动力学研究
被引量：
4
1
作者
王樟茂
吴兴松
赵炳辉
阙端麟
机构
浙江大学化学工程学系
浙江大学硅材料国家重点实验室
出处
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000年第3期233-238,共6页
基金
国家科委高技术基础处资助
浙江大学硅材料国家重点实验室开放课题
文摘
在一直径为 ８０ ｍｍ的喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验．研究了 颗粒硅的生长速率与颗粒硅的初始粒径和三氯氢硅分压的关系，建立了颗粒硅的生长速率模型，并用实 验数据进行关联，得到如下的半经验、半理论模型，该模型能较好地与实验数据相吻合，实验结果证明了 用流态化技术进行颗粒硅生产的可行性．与西门子工艺相比，流化床工艺可以提高原料气的转化率，降 低能耗和氢配比．因而多晶硅的流态化技术研究有着很好的发展前景。
关键词
三氯氢硅
氢还原反应
喷动流化床
颗粒硅
多晶硅
Keywords
trichlorosilane
hydrogen reduction
spouted-fluidized-bed
St-partiales
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在喷动流化床中用SiHCl_3制聚颗粒硅的动力学研究
王樟茂
吴兴松
赵炳辉
阙端麟
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
