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三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展
被引量：
3
1
作者
缪光武
王术成
+5 位作者
吴江平
朱家栋
王传钊
郑瑞鹏
曾群
刘武灿
《低温与特气》
CAS
2023年第3期1-6,共6页
三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体,被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点,列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中,优先选择冷氢法制备三氯氢硅,该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗...
三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体,被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点,列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中,优先选择冷氢法制备三氯氢硅,该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗品的杂质种类,选择合适的纯化方法,得到高纯度的三氯氢硅产品。
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关键词
三氯氢硅
制备
纯化
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职称材料
题名
三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展
被引量：
3
1
作者
缪光武
王术成
吴江平
朱家栋
王传钊
郑瑞鹏
曾群
刘武灿
机构
浙江省化工研究院有限公司含氟温室气体替代及控制处理国家重点实验室
出处
《低温与特气》
CAS
2023年第3期1-6,共6页
文摘
三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体,被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点,列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中,优先选择冷氢法制备三氯氢硅,该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗品的杂质种类,选择合适的纯化方法,得到高纯度的三氯氢硅产品。
关键词
三氯氢硅
制备
纯化
Keywords
trichlorosilane
preparation
purification
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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作者
出处
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被引量
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1
三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展
缪光武
王术成
吴江平
朱家栋
王传钊
郑瑞鹏
曾群
刘武灿
《低温与特气》
CAS
2023
3
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