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题名三维集成压电与声光器件
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作者
王梓霖
王喆垚
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机构
清华大学集成电路学院
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出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第1期1-19,共19页
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文摘
压电与声光器件是组成电子和信息系统必不可少的功能器件。然而,多数压电与声光器件采用特殊材料和工艺制造,难以与硅基的集成电路进行集成,进而影响到系统的性能、体积和成本。近年来三维集成技术的发展为不同材料、不同工艺的压电与声光器件与硅基电路芯片的异质异构集成开辟了新途径。该文介绍了三维集成的概念、分类和实现方法,并重点介绍了光电、压电材料与器件和硅基电路的异质异构集成方案和研究进展,特别是光子器件以及压电声学器件与电子芯片的集成。
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关键词
三维集成
压电器件
声光器件
硅芯片
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Keywords
3D integration
piezoelectric device
acousto-optic device
silicon chip
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN646
[电子电信—电路与系统]
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题名实现AT切石英晶体振荡器微处理器温度补偿的新方法
被引量：9
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作者
王喆垚
朱惠忠
董永贵
冯冠平
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机构
清华大学微电子所
精密测试技术与仪器国家重点实验室
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期215-217,共3页
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基金
国家"九五"科技攻关项目! (No .96 748 0 1 0 4 )
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文摘
本文介绍实现AT切石英晶体振荡器微处理器温度补偿的新方法———双频温度自测法 .AT切石英谐振器各泛音次数的频率温度曲线不同 ,利用基频与 3次泛音除一阶温度系数不同外其他各阶温度系数相等的特性 ,基频的 3倍频与 3次泛音频率的差频输出与温度近似成线性关系 .同时激励并测量基频和 3次泛音频率 ,经过微处理器计算差频实现谐振器温度自测并进行晶体振荡器的微处理器温度补偿 .与使用分立温度传感器相比 ,消除了测温元件与石英谐振器温度时间常数不同以及温度场梯度造成的测温误差 ,提高了测温和补偿精度 .
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关键词
石英谐振器
温度补偿
微处理器
振荡器
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Keywords
quartz crystal resonator
temperature compensation
overtone
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分类号
TN752.2
[电子电信—电路与系统]
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题名石英谐振力传感器的温度自测及温度补偿
被引量：3
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作者
王喆垚
朱惠忠
董永贵
冯冠平
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机构
清华大学微电子所
清华大学精密仪器系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2001年第1期59-62,共4页
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基金
国家"九五"科技攻关项目 !(96-748-0 1-0 4)
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文摘
石英谐振器的基频和 3次泛音频率都是力和温度的函数 ,利用二者各阶温度系数除一阶外均相同的特性 ,基频的 3倍频与 3次泛音的差频是温度的线性函数并且与力无关 ,因此测量差频可以实现力传感器的温度自测和温度补偿。与采用分立的温度传感器相比 ,该方法消除了由于温度传感器和谐振器热惯性和空间位置不同引起的测温误差 ,提高了动态温度过程中的补偿精度。
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关键词
石英谐振器
力传感器
温度自测
温度补偿
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Keywords
quartz crystal resonator
force sensor
self temperature sensing
temperature compensation
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名鼓形AT-切石英谐振器的力频特性
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作者
王喆垚
朱惠忠
董永贵
冯冠平
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第6期433-438,共6页
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基金
国家"九五"科技项目!96-748-01-04
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文摘
讨论了鼓形ＡＴ－切石英谐振器的力频特性。理论基础是初始有限变形上叠加弹性增量变形，并且使用了Ｍｉｎｄｌｉｎ所提出的把应变应力展开成板厚的级数的方法。在把三维运动方程简化为二维运动方程后。推导了带有电极的ＡＴ－切石英谐振器的运动微分方程。为了得到鼓形ＡＴ－切石英谐振器的Ｒａｔａｊｓｋｉ系数，在计算石英片在初始应力作用下的应力应变分布时考虑了石英各向异性的特性。将计算结果与其他研究者的实验和理论结果进行了比较。
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关键词
石英
谐振器
力频特性
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Keywords
quartz
resonator
force sensor
frequency
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分类号
TN752.2
[电子电信—电路与系统]
O732
[理学—晶体学]
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题名石英谐振式数字称重传感器
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作者
王喆垚
朱惠忠
董永贵
冯冠平
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机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第4期272-276,共5页
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基金
国家"九五"科技攻关资助项目
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文摘
介绍了一种由柔性铰链构成的弹性体结构和 Ａ Ｔ 切型石英谐振器组成的石英谐振式数字称重传感器。通过仔细设计弹性体的结构形式和石英谐振器在弹性体中的位置，可以消除传感器的四角误差，使之象电阻应变式称重传感器一样经过简单的调整就可以作为电子衡器的传感器。由于 Ａ Ｔ 切型石英谐振器在加力方向角约为４０°处存在着力频转换系数温度影响为零的点，利用这一特性可以使传感器的灵敏度温度系数在没有补偿的情况下达到３×１０－ ４／° Ｃ。通过改变柔性铰链的尺寸可以设计不同量程的传感器，并给出了量程为 ２００ Ｎ 的传感器的精度指标。
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关键词
称重传感器
石英晶体
谐振器
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Keywords
load cell
quartz
resonator
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN752.2
[电子电信—电路与系统]
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题名一种新型基于电润湿的受光反射型显示单元
被引量：3
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作者
胡欢
吴建刚
赵皛曦
王喆垚
岳瑞峰
刘理天
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机构
清华大学微电子学研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第4期190-193,共4页
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基金
国家自然科学基金(10472055
60401009)
清华大学基础研究基金(JC2003061)
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文摘
利用电润湿原理制备了一种新型受光反射型显示单元。利用具有良好黏合性、疏水性和耐油性的PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料,研制了结构精简的反射型显示单元,成功地控制了显示单元中油滴的扩张与收缩,实现了像素单元对比度的变化。
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关键词
电润湿
反射型显示单元
微流体
聚二甲基硅氧烷
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Keywords
electrowetting
reflective display pixel
microfluidics
PDMS
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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