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题名紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究
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作者
狄建科
周明
赵裕兴
王星罡
李健
张伟
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机构
江苏省光子制造科学技术中心重点实验室
江苏大学材料科学与工程学院
苏州德龙激光有限公司
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期973-975,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50975129
51105176)
+2 种基金
江苏省普通高校博士研究生科研创新计划资助项目(CX08B-053Z)
江苏省2010年研究生创新计划资助项目(CX10B-258Z)
江苏省高校优势学科建设工程资助项目(PAPD)
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文摘
采用紫外激光对触摸屏产品中不可视区域进行刻蚀分析,探究了紫外激光刻蚀原理,讨论了银浆薄膜激光刻蚀与传统印刷工艺异同点,并在此基础上完成一套紫外激光刻蚀系统方案的设计和建造。实验结果表明,选用波长为355nm的紫外激光器,当激光器功率为10W,重复频率100kHz,刻蚀速度为1500mm/s,刻蚀次数1次时,薄膜被完全刻蚀,最终获得功能良好的银浆线路。经测试后发现,所刻蚀后银浆线条平直而光滑,边缘热影响区域较小,最小刻蚀线宽可以达到10μm,基板未受到损伤;与传统印刷工艺相比较,简化了工艺步骤,产品良品率得到提升,是一种无排放的绿色环保先进的刻蚀工艺。
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关键词
紫外激光
激光刻蚀
薄膜
触摸屏
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Keywords
ultraviolet laser
laser etching
film
touch screen
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分类号
O437
[机械工程—光学工程]
TN249
[电子电信—物理电子学]
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