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题名衍射光学元件精密模压模具设计及预补偿
被引量：2
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作者
张云龙
焦眀印
汪志斌
张峰
张征
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机构
西安应用光学研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期760-765,共6页
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基金
国防基础科研计划资助(JCKY2018208C022)。
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文摘
衍射光学元件较球面、非球面光学元件在校正色差方面具备较大优势,尤其是在红外光学领域,应用衍射光学元件可进一步增加光学系统的设计自由度。随着红外光学市场的进一步增大,常规的衍射光学金刚石车削技术难以满足大规模需求,精密模压技术成为解决上述问题的关键技术。模具设计是实现精密模压的重点,为了缩减模具设计周期,该文采用有限元仿真方法对模具进行预先设计及补偿,并试加工。采用单站式精密模压机对设计的模具进行了精密模压试验。模压试验结果表明:采用合理的工艺参数,能够实现衍射光学元件面形精度PV达到0.56μm,位置误差<0.011 mm,环带高度误差<0.12μm,验证了仿真预先补偿在衍射光学模具设计中的有效性。
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关键词
衍射光学元件
精密模压
模具设计
硫系玻璃
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Keywords
diffractive optical elements
precision molding
mold design
chalcogenide glass
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分类号
TN205
[电子电信—物理电子学]
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