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题名一种基于MEMS的小型化双通带宽带滤波器芯片
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作者
濮泽宇
万晶
王霄
李跃华
梁晓新
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机构
南京理工大学
昆山微电子技术研究院
中国科学院微电子研究所
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出处
《电子技术应用》
2021年第7期48-51,56,共5页
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文摘
基于Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)工艺,采用双层谐振腔滤波结构,分析并设计了一种基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide(SIW)双通带宽带带通滤波器芯片。设计的滤波器芯片在21.25~29 GHz以及43~47.5 GHz双通带频带内插入损耗小于3 dB,相对带宽分别为30%以及10%,带外抑制度大于20 dB,并且在双通带间产生了零点,尺寸仅为4.2 mm×1.1 mm×0.8 mm。该滤波器是平面堆叠结构,具有体积小、频带宽、易集成等优点,有较好的应用价值。
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关键词
双通带
宽带
带通滤波器
SIW
MEMS
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Keywords
dual-passband
broadband
bandpass filter
SIW
MEMS
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分类号
TN713
[电子电信—电路与系统]
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